Pfeiffer CMR 364 セラミック容量式ダイヤフラム圧力計、1/2インチチューブ継手、1 hPa (1 mBar/750 mTorr) フルスケールPfeiffer CMR 364 静電容量式ダイヤフラム圧力計は、1/2インチのチューブ継手を備え、フルスケール測定範囲は1 hPa (1 mBar/750 mTorr)、最小測定値は10⁻⁴ mbar (7.5 x 10⁻² mTorr)です。この圧力計の応答時間は30msで、測定値の0.2%の精度を備えています。セラミック酸化アルミニウム静電容量センサ素子を使用して、ガスの種類や組成に関係なく、ガスの絶対圧力を測定します。ルックアップテーブルやガス変換計算は不要です。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、365セラミック容量式ダイヤフラムゲージは、TPG 361、362、366 Pfeifferゲージコントローラと互換性があり、センサーケーブルが必要です。センサーケーブルは、このウェブサイトで3メートルから10メートルまでの長さで販売されています。コントローラとケーブルは別売りです。
操作手順と技術データは下記およびダウンロードページに記載されています。