Pfeiffer CMR 364 セラミック容量式ダイヤフラム圧力計、CF 1-1/3 (DN 16 CF-R)、フルスケール 1 hPa (1 mBar/750 mTorr) Pfeiffer CMR 364 静電容量式ダイヤフラム圧力計（CF 1-1/3 (DN 16 CF-R) フランジ付き）は、フルスケール測定範囲が 1 hPa (1 mBar/750 mTorr)、最小測定範囲が 10 -4 mbar (7.5 x 10 -2 mTorr) です。この圧力計の応答時間は 30ms で、測定値の精度は 0.2% です。セラミック酸化アルミニウム静電容量センサ素子を使用して、ガスの種類や組成に関係なく、ガスの絶対圧力を測定します。ルックアップテーブルやガス変換計算は不要です。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、365セラミック容量式ダイヤフラムゲージは、TPG 361、362、366 Pfeifferゲージコントローラと互換性があり、センサーケーブルが必要です。センサーケーブルは、このウェブサイトで3メートルから10メートルまでの長さで販売されています。コントローラとケーブルは別売りです。
操作手順と技術データは下記およびダウンロードページに記載されています。
