Pfeiffer CMR 365 セラミック容量式ダイヤフラム圧力計、1/2インチチューブ、フルスケール0.1 hPa (0.1 mbar / 75 mTorr) Pfeiffer CMR 365セラミック容量ダイヤフラム圧力計は、1/2インチのチューブ継手を備え、フルスケール測定範囲は0.1 hPa（0.1 mbar / 75 mTorr）、最小測定圧力は10⁻⁵ mbar（7.5 × 10⁻² mTorr）です。この圧力計の応答時間は130 ms、精度は測定値の0.5%です。セラミック酸化アルミニウム容量センサ素子を使用して、ガスの種類や組成に関係なく、ガスの絶対圧力を測定します。ルックアップテーブルやガス変換計算は不要です。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、および365セラミック容量ダイヤフラムゲージは、Pfeiffer TPG 361、362、および366ゲージコントローラと互換性があり、センサーケーブルが必要です。センサーケーブルは、このウェブサイトで3メートルから10メートルまでの長さで入手可能です。コントローラとセンサーケーブルは別売りです。
操作手順と技術データは以下に記載されており、ダウンロードセクションからも入手できます。
