Pfeiffer HiPace 80 NEO ターボポンプ DN 63 ISO-K 63 インレットと HiScroll 6 粗引きドライスクロールポンプのパッケージ、TC 80 ドライブユニット OmniControl 200 および空冷キット付き

この Pfeiffer HiPace 80 NEO ターボポンプ パッケージには、DN63 ISO-K 入口フランジが付属し、Pfeiffer HiScroll 6 ドライスクロール粗引きポンプが付属します。HiPace 80 NEO の排気速度は 67 l/s、到達圧力は 7.5 x 10 ^-8 Torr です。ポンプには TC 80 電子ポンプ駆動ユニットが内蔵されています。このパッケージには、OmniControl 200 ディスプレイ制御ユニットと、大型 LED ディスプレイ付きの電源装置 (AC 電源ケーブルを含む) が含まれます。OmniControl 200 は、アクセサリ用の M8 ポートと、付属の RS485 通信ケーブル (部品番号 P1012287) を接続するための M12 コネクタを備えた、長さ 3 メートルのコントローラ接続ケーブル (部品番号 P103335) を介してポンプに電力を供給し、通信および制御します。ポンプを破片から保護するため、細かいメッシュ（0.8 mm）の飛散防止ガードもこのパッケージに含まれています。このターボポンプパッケージには粗引きポンプが含まれますが、粗引きライン、真空チャンバー、圧力測定ゲージ、バルブは含まれていません。アップグレードには、水冷キット、ソレノイドベントバルブ、シーリングガスパージバルブなどが含まれる場合があります。これらのアイテムはすべてIdeal Vacuumから別売りで入手可能です。

DN63 ISO-Kフランジ付きHiPace 80ターボポンプについて
Pfeiffer HiPace 80 NEOターボ分子高真空ポンプは、DN63 ISO-K入口フランジとKF-16出口フランジを備え、排気速度は67リットル/秒（l/s）、到達圧力は7.5 x 10-8 Torrです。ポンプは任意の方向に設置できます。24 VDC入力電源（最大110ワット）が必要です。このPfeiffer HiPace 80ポンプには、ポンプ側面にTC 80ドライブユニットが一体化されており、ポンプ電源供給用のX3（15ピンD-Sub）コネクタ1個、RS485通信、およびM8アクセサリポート（空冷ファンまたはソレノイドベントバルブのいずれかを制御）を備えています。 ISO-K 63 インレットと TC 80 ドライブ ユニットを備えたこの HiPace 80 NEO ターボ ポンプの Pfeiffer 部品番号は PM P080 301 10 です。

HiScroll 6ドライスクロール粗引きポンプについて
Pfeiffer HiScroll 6ドライスクロール粗引き/バッキングポンプは、排気速度3.6 cfm（6.1 m3/時）、到達真空度1.5 x 10-2 Torr（2 x 10-2 mbar）です。KF-25（NW25）入口および出口ポートを備えています。入力は100～240 VAC、50/60 Hz、単相電源が必要です。AC電源ケーブルが付属しています。HiScroll 6ポンプは、120VACで4A（240 VACで2A）を消費し、48 dB（A）と非常に静かです。このHiScrollポンプは、モーター保護回路を内蔵し、2段ガスバラストを内蔵しているため、水、溶剤、希酸、希塩基などの凝縮性蒸気をポンプで送ることができます。乾燥空気または不活性ガスの最大バラスト圧力は21.7 psi（1500 hPa）です。このポンプにはインバーターコントローラーが搭載されており、使いやすいプッシュボタンで手動で制御できるほか、Pfeiffer TC 80またはOmniControlコントローラー、あるいはユーザー提供のソフトウェアインターフェースに接続してRS485経由でリモート制御することも可能です。ポンプコントローラーにはスタンバイモードがあり、アクティブ時にはポンプの速度を全速の50%に減速することで、チップシールの摩耗を抑え、ベアリングの寿命を延ばします。このPfeiffer HiScroll 6ドライスクロールポンプの部品番号はPD S10 000です。

OmniControl 200ドライブコントロールユニットについて
Pfeiffer OmniControl 200ターボポンプコントローラは、ベンチトップまたはラックマウント型で、TC 80駆動ユニットを内蔵するPfeiffer HiPace 80 NEOおよびHiPace 300Hターボポンプを操作するように設計されています。OmniControl 200は、TC 80電子駆動ユニットに最大200ワットの24VDCを供給し、TC 80電子駆動ユニットがポンプに電力を供給します。OmniControl 200とTC 80間の接続ケーブルは付属しています。この接続ケーブルはポンプへの電力供給だけでなく、付属のラジアル強制空冷ファンユニットやシーリングガスバルブを接続するためのM8ポートも備えています。OmniControl 200への入力電源は115/230VACで、標準の115VAC電源ケーブルが付属しています。この OmniControl 200 ターボ ポンプ ディスプレイ制御ユニットおよび電源の Pfeiffer 部品番号は PE D50 100 0 です。

ラジアル空冷ファンユニットについて
このPfeiffer製空冷ファンユニットは、HiPace 80 NEOターボポンプの側面に取り付けられ、ポンプに対して垂直方向に空気の流れを提供します。この空冷ファンは、TC 80-OmniControlケーブルのアクセサリポートの1つに接続します。ポンプがオンのときは、空冷ユニットも常時作動します。このラジアル空冷ファンユニットのPfeiffer部品番号はPM Z01 300 ATです。

このパッケージ プランのアプリケーションには次のものが含まれます。

• 質量分析
• ガスクロマトグラフィー質量分析法（GC/MS）
• 液体クロマトグラフィー質量分析法（LC/MS）
• 誘導結合プラズマ質量分析法（ICP-MS）
• 飛行時間型質量分析法（TOF）

研究開発における真空：

• 高エネルギー物理学
• 融合技術
• 一般的なUHV研究
• シンクロトロン光源粒子加速器

ナノテクノロジー機器:

• 電子顕微鏡
• 走査型電子顕微鏡（SEM）
• 透過型電子顕微鏡（TEM）
• 集束イオンビームシステム（FIB）
• 表面分析
• 半導体製造

工業用真空処理：

• 薄膜堆積：
• ガラスコーティング装置（建築用・自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ）
• 薄膜太陽電池の製造（光起電）
• 光データメディア（CD、DVD、光磁気ディスク）
• 磁気記憶媒体
• 表面処理
• 光学コーティング（眼科用、精密光電子工学用）
• フィルムまたは箔へのロール/ウェブコーティング

デバイス処理:

• テレビおよびモニター用ブラウン管製造
• ランプの避難（高速道路照明、ビーマー）
• X線管と電子装置

一般的なプロセス:

• 真空炉
• 冶金

このパッケージは、多数の個別パーツで構成されるキットとして在庫されており、各パーツは下記の「キットコンポーネントの入手状況」セクションに記載されています。取扱説明書はダウンロードから入手できます。