Pfeiffer HiPace 80 Neoターボポンプ（TC 80ドライブユニット、Conflat CF 4.5インチインレットフランジ付き）、排気速度67 l/s、空冷または水冷。PN: PM P080 311 10

Pfeiffer HiPace 80 Neoターボ分子高真空ポンプは、Conflat CF 4.5インチインレットフランジを備え、排気速度は67リットル/秒（l/s）、到達圧力は3.5 x 10 ^-10 Torrです。このPfeiffer HiPace 80 Neoターボポンプには、ポンプ側面に取り付けられたTC 80駆動ユニットとISO KF-16排気フォアラインフランジが一体化されています。ポンプは任意の方向に取り付け可能です。最大110ワットの24 VDC入力電力が必要です。CF 4.5インチインレットとTC 80駆動ユニットを備えたこのHiPace 80 NeoターボポンプのPfeiffer部品番号はPM P080 311 10です。

付属の TC 80 ドライブ ユニットはコンパクトなオンボード コントローラで、ポンプ電源、RS485 通信、アクセサリ ポート (空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブのいずれかを制御するため) を供給するための単一の X3 (15 ピン D-Sub) コネクタを備えています。OEM (相手先ブランド供給) およびシステム統合アプリケーションの場合、ポンプを起動するために必要なのは、適切な 24 VDC 電源と開始/停止ロジックだけです。研究室アプリケーションには、電源供給とポンプの制御の両方が可能な 200 ワットの Pfeiffer OmniControl 200 コントローラをお勧めします。OmniControl 200 は、ベンチトップまたはラックにマウント可能なリモート ユーザー インターフェイス/電源で、Pfeiffer HiPace シリーズ ターボ ポンプと RS485 を介して通信し、完全な監視と制御を提供します。また、Pfeiffer TC 80 コントローラを使用して電源を供給し、ポンプを制御することもできます。ポンプとコントローラを相互接続し、RS485 コネクタとアクセサリ ポートをブレークアウトするには、Pfeiffer ケーブル部品番号 P103335 または P1011168 を使用します。

当社では、OmniControl 200 および DCU 110 ポンプ コントローラ、入口スクリーン、強制空冷および水冷キット、ソレノイド作動式ベント バルブ、ヒーター バンド (Conflat CF フランジ ポンプのみ) など、さまざまなオプション アクセサリを提供しています。

Pfeiffer HiPace 80 Neo ターボポンプ（Conflat CF 4.5インチインレットおよびTC 80ドライブユニット搭載）仕様：

• 部品番号: PM P080 311 10
• インレットフランジ：コンフラットCF 4.5インチ
• ベース圧力: 3.5 x 10 ^-10 Torr
• 高真空フランジでの最大ベークアウト温度：120℃
• 動作速度: 90,000 RPM
• 取り付け方向: 任意
• ポンピング速度: 67 l/s
• 冷却方法標準：対流
• 冷却方法 オプション: 強制空気または水（75 l/h、15～25 °C）
• 排気フランジ：KF-16、G 1/4”（BSPP）
• 排気接続：G 1/8”（BSPP）
• 一体型コントローラ：TC 110 ドライブユニット
• 動作電圧: 24 VDC
• 最大電力: 110ワット
• 準備時間: 1.7 分
• インターフェース: RS485、リモート、15ピンD-Sub X3コネクタ経由
• アクセサリポート: 15ピンD-Sub X3コネクタ経由2個
• 入力電源: 15ピンD-Sub X3コネクタ経由
• 推奨粗引きポンプ：HiScroll 6ドライスクロールポンプ

Pfeiffer Vacuum HiPaceシリーズのターボポンプは、実績のあるハイブリッドベアリングを採用した独自のローター設計を特徴としています。HiPaceポンプは、高い排気速度と高いガス処理量に加え、軽質ガスの高圧縮を実現します。HiPaceポンプは、ターボ分子ステージとドラッグステージの両方を備え、高いバッキングライン圧力への耐性が向上し、あらゆるガス種において優れた排気速度を実現します。HiPaceハイブリッドベアリングは、前真空側にセラミックボールベアリング、高真空側に永久磁石ラジアルベアリングを組み合わせたものです。このベアリング技術は電磁石を必要とせず、標準メンテナンス間隔が約4年と長寿命です。性能向上に加え、すべてのHiPaceターボポンプには現場でメンテナンス可能なオイルカートリッジとシャフトベアリングが装備されており、ダウンタイムを大幅に削減します。

Conflat CFフランジを採用したPfeiffer HiPaceポンプは、真の超高真空（UHV）ポンプであり、到達圧力は10 ^-10 Torr（全金属製の吸気シールガスケットを使用し、真空チャンバーを完全に洗浄・ベーキングした場合）の範囲に達します。ISOフランジを採用したターボポンプは、ゴム/エラストマー製Oリングシールの透過およびガス放出により、到達圧力が10 ^-8 Torrに制限されます。Conflatフランジ採用のHiPaceポンプの吸気部は、ターボが水冷式の場合、最大120 °Cまでベーキング可能です。

一般的なターボポンプの用途は次のとおりです:

• 一般的なクリーンポンプ用途
• 走査型電子顕微鏡（SEM）
• ビームラインと高エネルギー物理学
• 質量分析
• 電子顕微鏡
• サンプル準備
• 研究開発
• 高エネルギー物理学
• 産業
• 半導体
• コーティング
• 表面科学機器

ポンプの取扱説明書と Pfeiffer HiPace ポンプの製品パンフレットはダウンロードで入手できます。