Pfeiffer HiPace 800 ターボポンプ、TC 400 駆動ユニット、Conflat CF 10.0 インチ入口フランジ、790 l/s ポンプ速度、水冷式。 Pfeiffer部品番号：PM P04 301。 Pfeiffer HiPace 800 ターボ分子高真空ポンプは、DN200 CF Conflat CF 10.0 インチ入口フランジを備え、排気速度は毎秒 790 リットル (l/s)、到達圧力は 3.5 x 10
-10 Torr です。この Pfeiffer HiPace 800 ポンプには、ポンプに側面に取り付けられた統合型 TC 400 駆動ユニットが付属し、排気前部フランジは ISO KF-25 です。ポンプはどの方向にも取り付けることができます。最大 420 ワットの 48 VDC 入力電源が必要です。CF 10.0 インチ入口と TC 400 駆動ユニットを備えたこの HiPace 800 ターボポンプには、標準で水冷キットが付属しており、Pfeiffer 部品番号: PM P04 301 です。
付属の TC 400 ドライブ ユニットは、RS485 通信インターフェース、リモート操作用の D-sub コネクタ、および 2 つのアクセサリ ポート (空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブを制御するため) を備えたコンパクトなオンボード コントローラです。OEM (相手先ブランド製造業者) およびシステム インテグレーション アプリケーションでは、ポンプを起動するために必要なのは、適切な 48 VDC 電源と起動/停止ロジックだけです。ラボ アプリケーションでは、電源供給とポンプ制御の両方が可能な 400 ワットの Pfeiffer OmniControl 400 コントローラをお勧めします。OmniControl 400 は、ベンチトップまたはラックに取り付け可能なリモート ユーザー インターフェイス / 電源であり、RS485 を介して Pfeiffer HiPace シリーズ ターボ ポンプと通信し、完全な監視と制御を提供します。
当社では、OmniControl 400ポンプコントローラー、吸込口スクリーン、強制空冷キット、電磁弁式ベントバルブ、ヒーターバンド（Conflat CFフランジ付きポンプ専用）など、さまざまなオプションアクセサリーをご用意しています。
Pfeiffer HiPace 800ターボポンプ（CF 10.0インチインレットおよびTC 400駆動ユニット付き）の仕様：- 部品番号：PM P04 301
- インレットフランジ：コンフラットCF 10.0インチ
- 基本圧力：3.5 x 10⁻¹⁰ Torr
- 高真空フランジでのベーキング最高温度：120℃
- 動作速度：49,200 RPM
- 取り付け方向：任意
- ポンプ速度：790 l/s
- 冷却方式標準：水冷（100リットル/時、15～25℃）
- 冷却方式（オプション）：強制空冷
- 排気フランジ：KF-25、G 1/4インチ（BSPP）
- 通気接続部：G 1/8インチ（BSPP）
- 一体型コントローラ：TC 400 ドライブユニット
- 動作電圧：48VDC
- 最大出力：420ワット
- 準備時間：2分
- インターフェース：M12コネクタ経由のRS485
- リモート：高密度26ピンサブDコネクタ
- アクセサリポート：M12ソケット2個（AとBのラベル付き）
- 推奨粗引きポンプ：HiScroll 12 ドライスクロールポンプ
Pfeiffer Vacuum社のHiPaceシリーズのターボポンプは、実績のあるハイブリッドベアリングを採用した独自のローター設計が特徴です。HiPaceポンプは、軽質ガスに対して高い排気速度と高いガス流量、そして高い圧縮率を実現します。HiPaceポンプは、ターボ分子段とドラッグ段の両方を備えているため、より高いバックライン圧力に対する耐性が向上し、あらゆるガス種において排気速度が向上します。HiPaceハイブリッドベアリングは、前真空側にセラミックボールベアリング、高真空側に永久磁石ラジアルベアリングを組み合わせたものです。このベアリング技術は電磁石を必要とせず、約4年のメンテナンス間隔で長寿命を実現します。性能向上に加え、すべてのHiPaceターボポンプは、現場で交換可能なオイルカートリッジとシャフトベアリングを備えているため、ダウンタイムを大幅に削減できます。
Conflat CFフランジを備えたPfeiffer HiPaceポンプは、真の超高真空（UHV）ポンプであり、到達圧力は
10⁻¹⁰ Torrの範囲に達します（オールメタルの吸気シールガスケットを使用し、真空チャンバーを完全に洗浄してベーキングした場合）。ISOフランジを備えたターボポンプは、ゴム/エラストマーOリングシールの透過とガス放出により、到達圧力が
10⁻⁸ Torrの範囲に制限されます。ターボが水冷式の場合、Conflatフランジ付きHiPaceポンプの吸気は120℃までベーキングできます。
ターボポンプの代表的な用途は以下のとおりです。- 一般的なクリーンポンプ用途
- 走査型電子顕微鏡 - SEM
- ビームラインと高エネルギー物理学
- 質量分析法
- 電子顕微鏡
- 試料調製
- 研究開発
- 高エネルギー物理学
- 工業
- 半導体
- コーティング
- 表面科学機器
ポンプの取扱説明書とPfeiffer HiPaceポンプの製品パンフレットは、ダウンロードページから入手できます。
