アネスト岩田 DVSL-100C-B オイルフリードライスクロールポンプ、KF-25 入口、4.2 CFM、2.3x10 -1 Torr、単相 100-115/200-230 VAC。
アネスト岩田部品番号：DVSL-100C-B。アネストイワタ DVSL-100C-B オイルフリードライスクロールポンプは、単相 100-115/200-230 VAC、50/60 Hz で動作します。このアネストイワタ DVSL-100C-B の吐出量は 60 Hz で 4.2 CFM、到達圧力は 3.8 x 10
-1 Torr です。このポンプは、高性能、コンパクトな設計、非常に軽量で、経済的で運用コストも低く抑えられます。日常的なメンテナンスはほとんど不要で、オイル交換、フィルター、フォアライントラップの交換も必要ありません。オイルシール式ロータリーベーンポンプの優れた代替品です。このポンプは単相モーターを使用しています。操作説明書は、下記 PDF 形式でダウンロードできます。
真空ポンプで湿ったガスを排気すると、ポンプ内に凝縮した水分が残ることがあります。この水分が残ると、到達圧力の低下やポンプの故障につながる可能性があります。ポンプ内部に残った水分を排出するには、エアフラッシュ操作が必要です。エアフラッシュ操作は、残った水分を排出するだけでなく、到達圧力も回復させます。
アプリケーション- スパッタリング装置、真空蒸着装置、イオンプレーティング装置
- 加速器、シンクロトロン放射
- 表面改質、電子ビーム処理
- ガス回収装置
- 真空装置
- 漏水検知器
- デバイスハンドリングシステム
- 真空炉、熱処理炉
- 実験室での使用
- 真空包装機
アネスト岩田のISPシリーズ真空ポンプは、クリーンな真空環境を実現し、煩雑な潤滑油のメンテナンスやシール水の供給といった手間を省きます。空冷式のため設置場所の制約がなく、大気圧から最大圧力まで低消費電力を維持します。
