アネスト岩田 DVSL-501E-HC、オイルフリードライスクロールポンプ、KF-25インレット、18.4 CFM、7.5x10 -1 Torr、三相モーター、200-230/380-460 VAC。
アネスト岩田部品番号：DVSL-501E-HCアネストイワタ DVSL-501E-HC オイルフリードライスクロールポンプは、200-230/380-460 VAC、50/60 Hz の三相モーターで動作します。このアネストイワタ DVSL-501E-HC の吐出量は 60 Hz で 18.4 CFM、到達圧力は 7.5x10
-1 Torr です。このポンプは、高性能、コンパクトな設計、非常に軽量で、経済的で運用コストも低く抑えられます。日常的なメンテナンスはほとんど不要で、オイル交換、フィルター、フォアライントラップの交換も必要ありません。オイルシール式ロータリーベーンポンプの優れた代替品です。このポンプは三相モーターを使用しています。操作説明書は、以下の PDF 形式でダウンロードできます。
アプリケーション- スパッタリング装置、真空蒸着装置、イオンプレーティング装置
- 加速器、シンクロトロン放射
- 表面改質、電子ビーム処理
- ガス回収装置
- 真空装置
- 漏水検知器
- デバイスハンドリングシステム
- 真空炉、熱処理炉
- 実験室での使用
- 真空包装機
アネスト岩田のISPシリーズ真空ポンプは、クリーンな真空環境を実現し、煩雑な潤滑油のメンテナンスやシール水の供給といった手間を省きます。空冷式のため設置場所の制約がなく、大気圧から最大圧力まで低消費電力を維持します。
