ファイファー CMR 361 セラミック キャパシタンス ダイアフラム ゲージ、CF 1-1/3 (DN 16 CF-R) フランジ、1000 hPa (1000 mBar/750 Torr) フルスケール。PN: PT R24 602

Pfeiffer CMR 361 静電容量式ダイヤフラムゲージは、CF 1-1/3 (DN 16 CF-R) フランジを備え、フルスケール測定範囲は 1000 hPa (1000 mBar/750 Torr)、最小測定範囲は 10 ^-1 mbar (75 mTorr) です。このゲージの応答時間は 30ms、精度は測定値の 0.2% です。セラミック酸化アルミニウムの静電容量式センサー素子は、ガスの種類や組成に関わらず、ガスの絶対圧力を測定します。ルックアップテーブルやガス換算計算は不要です。

Pfeiffer CMR 361、362、363、364、365 セラミック容量ダイヤフラムゲージは、Pfeiffer ゲージコントローラ TPG 361、362、366 と互換性があり、センサーケーブルが必要です。このケーブルは、このウェブサイトで 3～10 メートルの長さで販売されています。コントローラとケーブルは別売りです。

操作手順と技術データは以下に記載されており、ダウンロードで入手できます。