ファイファー CMR 361 セラミック キャパシタンス ダイアフラム ゲージ、KF16 フランジ、1000 hPa (1000 mBar/750 Torr) フルスケール。PN : PT R24 601 Pfeiffer CMR 361 静電容量式ダイヤフラムゲージ(KF-16フランジ付き)は、フルスケール測定範囲1000 hPa(1000 mBar/750 Torr)、最小測定範囲10 -1 mbar(75 mTorr)です。応答時間は30ms、精度は測定値の0.2%です。セラミック酸化アルミニウムの静電容量式センサー素子は、ガスの種類や組成に関わらず、ガスの絶対圧力を測定します。ルックアップテーブルやガス換算計算は不要です。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、365 セラミック容量ダイヤフラムゲージは、Pfeiffer ゲージコントローラ TPG 361、362、366 と互換性があり、センサーケーブルが必要です。このケーブルは、このウェブサイトで 3~10 メートルの長さで販売されています。コントローラとケーブルは別売りです。
操作手順と技術データは以下に記載されており、ダウンロードで入手できます。