MKS HPS® 시리즈 943 냉음극 진공 게이지 컨트롤러는 423 I-Mag® 냉음극 센서 또는 UHV용 421 센서와 호환됩니다. MKS 부품 번호: 943-120V60-TR-PC. 참고: 943 시리즈는 MKS에서 생산이 중단되었습니다. 재고가 소진되면 Ideal Vacuum Products에서도 해당 제품의 판매가 중단되어 이 웹사이트에서 더 이상 구매할 수 없습니다. 권장 대체품은 냉음극 센서 카드(P1012843)가 포함된 946 시리즈 컨트롤러(P1012840)입니다. MKS HPS® 시리즈 943 냉음극 진공 게이지 컨트롤러는 OEM 또는 산업용으로 시리즈 423 I-Mag® 센서와 UHV용으로 시리즈 421 센서와 호환됩니다. 시리즈 943 냉음극 진공 게이지 컨트롤러는 사용하기 쉽도록 설계되었으며 10⁻¹⁰ ~ 10⁻² Torr 범위에서 빠르고 안정적인 압력 측정을 제공합니다. 943 냉음극 진공 게이지는 고진공 챔버의 압력 측정 및 고진공 시스템 제어를 포함한 산업, 공정 및 분석 분야에 적합합니다. 적용 분야는 고에너지 물리학, 분석 기기, 레이저 생산, 이온 주입, 질량 분석법 또는 PVD 등을 포함할 수 있습니다. 943 디지털 컨트롤러는 두 개의 표준 독립 릴레이 설정값을 제공하여 사용자가 공정을 안정적으로 제어할 수 있도록 합니다. 전면 패널의 디스플레이를 보면서 설정값을 조정할 수 있습니다. 빨간색 LED는 설정값 활성화 상태를 나타냅니다. 943 시리즈는 시인성이 뛰어난 LED 디스플레이를 사용하여 10⁻¹⁰ Torr에서 10⁻² Torr까지의 압력을 표시합니다. 원격 압력 모니터링을 위해 두 가지 유형의 아날로그 출력이 기본으로 제공됩니다. 내부 변환기는 전체 작동 범위에서 전압을 압력으로 간단하게 로그 변환할 수 있는 출력을 제공합니다. 또한 후면 패널의 15핀 액세서리 커넥터를 통해 빠른 응답 속도와 버퍼링 기능을 갖춘 아날로그 출력을 사용할 수 있습니다. 전면 패널 기능을 통해 고전압을 비활성화하고 냉음극이 자동으로 꺼지는 압력을 설정할 수 있습니다. 이는 압력이 센서의 작동 범위를 초과할 때 컨트롤러가 잘못된 값을 표시하는 것을 방지합니다. 본 제품은 새 제품이며 전원 코드, 액세서리 연결 키트 및 사용 설명서가 포함되어 있습니다. 본 제품에 사용되는 421 센서와 423 I-Mag® 센서 및 신호 케이블은 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 전체 사양 브로셔와 작동 설명서는 아래에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS 냉음극 진공 게이지 신호 케이블은 943 컨트롤러를 HPS 423 I-Mag® 센서(3m)에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100007873 이것은 MKS 10피트 길이의 냉음극 진공 게이지 신호 케이블로 MKS 423 I-Mag® 냉음극 센서의 상단과 MKS 943 냉음극 컨트롤러의 후면 포트에 연결됩니다. 이것은 케이블일 뿐이며, 다른 모든 부품과 액세서리는 선택 사항입니다. 423 I-Mag® 센서는 반전된 마그네트론 설계를 사용하며 적절한 컨트롤러를 사용하면 기존 Penning 냉음극 센서보다 훨씬 낮은 압력(10-11 Torr)에서 작동할 수 있습니다. 이렇게 증가된 압력 범위로 인해 HPS® 냉음극 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS® 냉음극 센서의 독특한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 양극과 접지 사이의 전류 누출로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 이중 피드스루 설계에서는 음극의 이온 전류만 측정 판독에 영향을 미치므로 공정 모니터링에 이상적입니다. 필라멘트가 끊어지지 않는 423 I-Mag® 센서는 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지의 가스를 제거할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 응답 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C까지 베이킹할 수 있습니다.

MKS 냉음극 진공 게이지 신호 케이블은 943 컨트롤러를 HPS 423 I-Mag® 센서(15미터)에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100002395. MKS 50피트 길이의 냉음극 진공 게이지 신호 케이블입니다. MKS 423 I-Mag® 냉음극 센서의 상단과 MKS 943 냉음극 컨트롤러의 후면 포트에 연결됩니다. 이것은 케이블일 뿐이며, 다른 모든 부품과 액세서리는 선택 사항입니다. 423 I-Mag® 센서는 반전된 마그네트론 설계를 사용하며 적절한 컨트롤러를 사용하면 기존 Penning 냉음극 센서보다 훨씬 낮은 압력(10-11 Torr)에서 작동할 수 있습니다. 이렇게 증가된 압력 범위로 인해 HPS® 냉음극 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS® 냉음극 센서의 독특한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 양극과 접지 사이의 전류 누출로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 이중 피드스루 설계에서는 음극의 이온 전류만 측정 판독에 영향을 미치므로 공정 모니터링에 이상적입니다. 필라멘트가 끊어지지 않는 423 I-Mag® 센서는 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지의 가스를 제거할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 응답 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C까지 베이킹할 수 있습니다.

MKS HPS® 423 I-Mag® 센서 냉음극 진공 게이지 KF25, NW25, MKS 943 냉음극 진공 컨트롤러와 호환 가능. MKS 부품 번호: 104230004 반전된 마그네트론 설계를 사용하는 423 I-Mag® 센서는 적절한 컨트롤러를 사용하면 기존 Penning 냉음극 센서보다 훨씬 낮은 압력(10-11 Torr)에서 작동할 수 있습니다. 이렇게 증가된 압력 범위로 인해 HPS® 냉음극 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS® 냉음극 센서의 독특한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 양극과 접지 사이의 전류 누출로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 이중 피드스루 설계에서는 음극의 이온 전류만 측정 판독에 영향을 미치므로 공정 모니터링에 이상적입니다. 필라멘트가 끊어지지 않는 423 I-Mag® 센서는 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지의 가스를 제거할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 응답 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C까지 베이킹할 수 있습니다. 이것은 냉음극 센서 전용입니다. 이 장치의 MKS 신호 케이블과 MKS 943 컨트롤러는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS HPS 423 I-Mag 센서 냉음극 진공 게이지 컨플랫 2.75 입구. MKS 부품 번호: 104230002. (MKS 943 냉음극 진공 컨트롤러와 호환 가능) 반전된 마그네트론 설계를 사용하는 423 I-Mag 센서는 기존 Penning 냉음극 센서보다 훨씬 낮은 압력(10-11 Torr)에서 작동할 수 있습니다. 적절한 컨트롤러. 이렇게 증가된 압력 범위로 인해 HPS 냉음극 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS 냉음극 센서의 독특한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 양극과 접지 사이의 전류 누출로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 이중 피드스루 설계에서는 음극의 이온 전류만 측정 판독에 영향을 미치므로 공정 모니터링에 이상적입니다. 필라멘트가 끊어지지 않는 423 I-Mag 센서는 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지의 가스를 제거할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 응답 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C까지 베이킹할 수 있습니다. 이것은 새로운 냉음극 센서입니다. 이 장치의 MKS 신호 케이블과 MKS 943 컨트롤러만 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.