애질런트 바리안 531 열전대 진공 압력계 시뮬레이터 및 기준관

본 제품은 애질런트 바리안 531 열전대 게이지 시뮬레이터 및 기준관입니다. 2.0 Torr 및 1 × ^10⁻³ Torr의 압력을 모두 모사할 수 있습니다. 기준관은 내부 압력이 5 × ^10⁻⁶ Torr 이하인 진공 상태로 영구 밀봉되어 있습니다.

열전대 진공 압력계
열전도도 압력계는 기체의 열전도율이 압력에 따라 감소한다는 원리를 이용합니다. 이 압력계는 전류를 흘려 와이어 필라멘트를 가열합니다. 그런 다음 열전대 또는 저항 온도 검출기(RTD)를 사용하여 필라멘트의 온도를 측정합니다. 이 온도는 필라멘트가 주변 기체로 열을 방출하는 속도, 즉 열전도율에 따라 달라집니다. 일반적인 변형으로는 백금 필라멘트 하나를 가열 소자와 RTD로 모두 사용하는 피라니 압력계가 있습니다. 이러한 압력계는 20 Torr에서 ^10⁻³ Torr까지 (센서 및 컨트롤러 모델에 따라 다름) 정확하게 측정할 수 있습니다. 그러나 측정 대상 기체의 화학적 조성에 민감하며, 기체 매체의 열전도율로부터 간접적으로 압력을 측정하는 상대 압력 측정 방식입니다.