Agient Varian 531 열전대 진공 압력 측정 게이지 튜브 센서, 4 VCR® 암형 스테인리스 스틸, 레이저 용접
Varian 531 열전대 게이지 튜브 센서는 1 x 10⁻³ Torr에서 2.0 Torr(1 x 10⁻³ mbar에서 2.7 mbar)까지의 총압력을 연속적으로 정확하게 측정합니다. 견고한 내구성과 뛰어난 성능을 결합하여 러핑 및 포어라인 압력 측정에 적합하도록 개발되었습니다. Varian 531 열전대 진공 게이지는 저렴한 가격의 압력 측정 센서입니다. 이 모델은 스테인리스 스틸 재질에 레이저 용접되어 진동에 대한 저항성이 뛰어납니다.
열전대 진공 압력계
열전도도 압력계는 기체의 열전도율이 압력에 따라 감소한다는 원리를 이용합니다. 이 압력계는 전류를 흘려 와이어 필라멘트를 가열합니다. 그런 다음 열전대 또는 저항 온도 검출기(RTD)를 사용하여 필라멘트의 온도를 측정합니다. 이 온도는 필라멘트가 주변 기체로 열을 방출하는 속도, 즉 열전도율에 따라 달라집니다. 일반적인 변형으로는 백금 필라멘트 하나를 가열 소자와 RTD로 모두 사용하는 피라니 압력계가 있습니다. 이러한 압력계는 20 Torr에서 10⁻³ Torr까지 (센서 및 컨트롤러 모델에 따라 다름) 정확하게 측정할 수 있습니다. 그러나 측정 대상 기체의 화학적 조성에 민감하며, 기체 매체의 열전도율로부터 간접적으로 압력을 측정하는 상대 압력 측정 방식입니다.
