Edwards APG200-M 액티브 피라니 진공 게이지 NW25, KF25, S 매칭, 비선형 출력, 대기압 3.75x10⁻⁴ 까지 측정 가능.
Edwards 부품 번호 D1G1021150 (APG100-M 부품 번호: D02606000 대체품). Edwards APG200-M 액티브 피라니 진공 게이지는 NW25, KF25 진공 플랜지를 포함하고 있으며, 설치가 간편한 소형 설계에 비선형 출력, 그리고 사용자가 교체 가능한 진공관 센서를 갖추고 있습니다. 이 새로운 Edwards 게이지는 모든 Edwards TIC, ADC, TAG 계측기 컨트롤러 및 기타 액티브 게이지 컨트롤러 및 디스플레이와 호환됩니다. 또한 무연 소재로 제작되어 CSA, C/US 인증을 획득했으며 RoHS 규정을 완벽하게 준수합니다. 대기압부터
3.75x10⁻⁴ 까지 압력을 측정할 수 있습니다. 신호 케이블과 TIC 진공 게이지 컨트롤러는 별도로 판매됩니다. 표준 텅스텐/레늄 필라멘트와 NW25 진공 플랜지를 사용하는 Edwards APG200-M 액티브 피라니 진공 게이지의 Edwards 부품 번호는 D1G1021150입니다.
APG200은 M, LC, MP 시리즈의 세 가지 버전으로 제공됩니다. M 시리즈는 표준 텅스텐/레늄 필라멘트를 사용하며 대기압부터
3.75x10⁻⁴ Torr까지 압력을 측정할 수 있어 일반적인 용도에 적합합니다. LC 버전은 내식성 백금/이리듐 필라멘트를 사용하며 대기압부터
7.5x10⁻⁵ Torr까지 압력을 측정할 수 있어 부식성 환경에서도 사용 가능합니다. MP 시리즈는 백금/로듐 필라멘트를 사용하며 대기압부터
3.75x10⁻⁴ Torr까지 압력을 측정할 수 있어 일반적인 용도에 적합합니다. Edwards APG200 시리즈 압력계의 사용 설명서는 아래 PDF 파일에서 다운로드할 수 있습니다.
APG200은 어떤 방향으로든 장착할 수 있습니다. 단, 게이지 튜브는 공장에서 질소 분위기 하에 수직으로 개별 교정됩니다. 선택하신 게이지 방향에서 정확한 압력 표시를 위해서는 대기압 상태에서 게이지를 재교정해야 합니다. Edwards는 게이지 내부에 공정 미립자 및 응축성 증기가 축적되는 것을 최소화하기 위해 게이지 튜브를 수직으로 장착할 것을 권장합니다. APG200은 질소 분위기에서 사용하도록 교정되었으며, 건조 공기, 산소 및 일산화탄소에서도 정확한 측정값을 제공합니다. 다른 가스를 사용할 경우 정확한 압력 측정값을 얻기 위해 변환이 필요합니다. 일반적으로 사용되는 가스는 질소, 아르곤, 이산화탄소, 헬륨, 크립톤 및 네온입니다.
주요 기능은 다음과 같습니다:- 컴팩트한 케이스로 신호 케이블에 쉽게 접근할 수 있습니다.
- 센서는 150°C(300°F)까지 베이킹 가능하며 사용자가 교체할 수 있습니다.
- 간단한 공정 제어 및 연동을 위한 조정 가능한 설정값
- 원격 보정 가능
- 압력 범위 10⁻⁴ Torr
피라니 게이지 및 대류 강화 피라니 게이지에 대한 배경 정보 피라니 진공 게이지는 열전대 게이지와 매우 유사한 열전도율 측정 방식의 게이지로 분류되며, 가열된 와이어의 저항을 측정하여 진공 압력을 결정합니다. 피라니 게이지는 가열된 필라멘트가 휘트스톤 브리지 회로의 한쪽 팔을 형성할 때 발생하는 저항 불균형을 측정하도록 설계되었습니다. 진공 압력이 증가함에 따라 기체 분자는 필라멘트에서 열을 빼앗아 가고, 압력 센서의 저항은 낮아져 회로의 불균형을 초래합니다. 따라서 진공 압력은 휘트스톤 브리지 회로에서 발생하는 압력 불균형으로부터 계산됩니다. 열전대 게이지와 마찬가지로 분자 충돌에 의한 열전도율은 0.001~1 Torr의 압력 범위에서 압력에 비례하여 선형적으로 증가합니다. 그러나 압력이 더욱 증가하여 점성 유동 영역에 도달하면 열 제거는 비선형적으로 변하는데, 이는 기체 분자 간 충돌로 인해 분자들이 가열된 와이어 쪽으로 다시 재배열될 수 있기 때문입니다. 분자들은 센서의 외부 본체(열 방출체)에 도달하기 전에 여러 번 충돌해야 합니다. 대류 강화형 피라니 압력계는 센서 내부의 대류 전류를 활용하여 압력 측정 범위를 대기압까지 확장합니다.
피라니 게이지는 측정값이 기체 종류에 따라 달라지는 간접 압력 측정 센서입니다. 무거운 기체는 열 전달률이 낮고, 표준 대류식 피라니 게이지는 질소(N2, 기본적으로 공기와 동일한 보정)에 맞춰 교정되어 있다는 점에 유의해야 합니다. 진공 시스템에 아르곤과 같은 무거운 기체를 역충전할 경우 위험한 과압 상태가 발생할 수 있습니다. 이러한 위험은 진공 시스템 작업자가 게이지 표시값을 올바른 기체 종류에 맞게 보정하지 않을 때 발생합니다. 예를 들어, 질소에 맞춰 교정된 표준 게이지가 챔버 내 아르곤 압력이 760 Torr일 때 24 Torr를 표시하는 경우, 작업자는 챔버가 여전히 진공 상태라고 착각하고 시스템의 압력을 위험한 과압 상태까지 계속 높일 수 있습니다. 또한, 대류식 피라니 게이지를 올바르게 설치하지 않으면 오류가 발생할 수 있습니다. 대부분의 상용 센서는 지면과 평행하게 설치해야 합니다. 이렇게 하면 센서 내부의 대류 전류가 설계된 방향으로 흐르게 됩니다(대류 강화 피라니 센서를 수평으로 설치하지 않으면 20% 이상의 오차가 쉽게 발생할 수 있습니다).
대류 강화형 피라니 센서의 급속 진공 배출은 수 초 동안 상당한 측정 오차를 발생시킬 수 있습니다. 급속하게 펌핑된 가스가 팽창하면서 압력 센서 필라멘트에서 열이 제거되는 과정은 일반적인 대류가 아니라 강제 대류에 의해 이루어집니다. 진공 압력이 급격히 떨어지는 동안 가스가 팽창하고 냉각되면서 뜨거운 센서 와이어에서 열을 제거하는 두 번째 경로가 제공됩니다. 대류 강화형 피라니 게이지는 시스템 진공 배출 중 최대 1000 Torr의 높은 압력을 잘못 표시할 수 있습니다. 가스 흐름이 멈추면 압력 판독값은 다시 실제 측정값으로 안정화됩니다. 이러한 이유로 대류 강화형 피라니 게이지는 동적 펌핑 조건에서의 압력 변화를 측정하는 데 적합하지 않습니다. 전반적으로 대류 강화형 피라니 게이지는 대기압에서 1x10⁻⁴ Torr까지 측정할 수 있는 인기 있고 비용 효율적인 저진공 압력 게이지이며, 1 Torr 미만의 측정값이 가장 정확합니다.
