Edwards E2M1.5 로터리 베인 듀얼 스테이지 러핑 펌프, 대류 강화 피라니 게이지 및 컨트롤러가 포함된 6 x 6 x 6 Cubic 모듈식 진공 챔버 패키지

이 Ideal Vacuum 모듈형 큐브 패키지는 6 x 6 x 6인치 진공 큐브, 115VAC Edwards E2M1.5 회전 베인 듀얼 스테이지 진공 펌프, Ideal Vacuum(IVP) XGC-321 대류 강화 피라니 게이지, XGC-320 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 필요한 모든 조립 하드웨어와 케이블이 포함되어 있습니다. 조립은 빠르고 쉽고 3/16인치 육각 렌치만 필요합니다.

Edwards E2M1.5 펌프는 기본 압력이 1.1 x ^10-3 Torr이고 펌핑 속도는 1.3 cfm입니다. 포함된 Ideal Vacuum XGC320 Pirani 게이지 컨트롤러와 XGC-321 대류 강화 Pirani 게이지 센서는 대기압에서 ^1x10-4 Torr까지의 압력을 측정합니다. 케이블이 포함되어 있습니다.

이 Cube 패키지에는 대기 공기를 진공 챔버로 유입하기 위한 벤트 밸브, 금속 벨로우즈 러핑 호스, E2M1.5 회전 베인 펌프를 진공 챔버에 연결하는 데 필요한 모든 하드웨어가 포함되어 있습니다. 포함된 3개의 KF-25 포트 플레이트와 3개의 빈 Cube 플레이트는 모든 프레임 측면에 장착할 수 있으므로 사용자는 챔버를 자신의 필요에 맞게 조립할 수 있습니다. 광범위한 수의 상호 교환 가능한 Cube 플레이트를 사용할 수 있으며 챔버 재구성이 필요할 때 하나 이상의 플레이트를 쉽게 교체할 수 있습니다.

이 6 x 6 x 6 챔버 패키지에는 다음이 포함됩니다.

• 수량 1개, P106861, 6 x 6 x 6 큐브 프레임
• 각 수량 1개, P107293, Cube 조립 하드웨어 키트(플레이트 씰 및 장착 나사 포함)
• 각 수량 3개, P106865, 중앙에 KF-25 포트가 있는 6 x 6 큐브 플레이트
• 각 수량 3개, P106862, 6 x 6 큐브 빈 플레이트
• 각 수량 3개, P101243, 비톤 O-링이 있는 KF-25 스테인리스 스틸 센터링 링
• 수량 3개, P104599, KF-25 방벽 클램프
• 수량 1개, P107297, 고무 진동 차단 풋 키트

거친 라인 액세서리 포함:

• 수량 2개, P101227, KF-25~KF-16 원뿔형 감속기
• 수량 1개, P103703, 40인치, KF-16, 얇은 벽 금속 벨로우즈 호스
• 각 수량 2개, P101242, 비톤 O-링이 있는 KF-16 스테인리스 스틸 센터링 링
• 각 수량 3개, P102581, 래칫 잠금 장치가 있는 KF-16 퀵 클램프
• 수량 1개, P103899, KF-10 공기 유입 통풍 밸브
• 각 2개, P101246, KF-10~KF-16 스테인리스 스틸 적응형 센터링 링, 비톤 O링 포함

회전 베인 루징 펌프 및 압력 게이지 포함:

• 각 1개 수량, P101924, Edwards E2M1.5 회전 베인 듀얼 스테이지 진공 펌프, A37132902, 115 VAC
• 수량 1개, P1010252, 2개의 설정점이 있는 IVP XGC320 게이지 컨트롤러, XGC-321 대류 강화 피라니 게이지, 10피트 센서 케이블 및 전원 공급 장치

조립 지침을 보려면 Cube 플레이트 설치 설명서와 진공 피팅 조립 가이드를 다운로드하세요.
Cube 플레이트 유지 관리 및 서비스 툴킷 (P1010554) 을 사용하여 Cube를 조립하세요.