이 소형 Ideal Vacuum Super-Seal 공압 벨로우즈 90° 앵글 밸브는 KF-40 입구 및 출구 포트를 갖추고 있습니다. 이 밸브는 주로 고진공 범위( ^10-8 Torr)에서 사용하도록 설계되었으며, 누출률은 ^10-9 Torr l/s(He)이지만 최대 60~80 psi의 양압에서도 사용할 수 있습니다. 이 밸브는 304L 스테인리스 스틸 밸브 본체와 메커니즘, 알루미늄 액추에이터, 그리고 Viton 벨로우즈 시트 O-링 씰로 구성됩니다. Super-Seal 밸브는 최대 100°C까지 가열할 수 있습니다(밸브 본체만 해당). 이 밸브는 어떤 방향으로든 장착할 수 있습니다.

이 소형 슈퍼씰 밸브는 공기가 필요하며 스프링 폐쇄 메커니즘을 갖추고 있습니다. 60~80psi 범위의 소량의 건조한 압축 공기가 필요합니다. 자동으로 닫히기 때문에 안전 밸브로 유용하게 사용되며, 정전이나 공기 공급 중단 시 챔버 진공을 유지하는 고장 방지 기능을 제공합니다.

밸브를 여는 공기 흐름은 단동 전기 솔레노이드로 제어됩니다. 솔레노이드 전압은 12VDC, 24VDC, 110VAC, 220VAC의 네 가지 중에서 선택할 수 있습니다.

Super-Seal 밸브에는 기계식 리드 스위치와 두 가지 트랜지스터 유형(NPN 및 PNP)을 포함하여 세 가지 위치 표시 센서가 제공됩니다. 각 센서에는 밸브의 상태(개방 또는 폐쇄)를 시각적으로 확인할 수 있는 LED가 있습니다. 이러한 센서는 보조 장치를 전환하거나 트리거하는 데에도 사용할 수 있습니다.

Super-Seal 밸브 제품군에는 용접 가능한 튜브, KF, ISO-K 및 Conflat(CF) 플랜지 옵션이 포함되며, 3/4" OD 튜브(KF-16)에서 10" OD 튜브(ISO-K 250)까지 다양하며, 많은 제품이 직각(90°) 및 인라인 버전으로 제공됩니다.

이 밸브는 매우 높은 가치와 높은 신뢰성을 자랑하여 반도체 제조, 플라즈마 물리학 연구, 핵 가속기 등의 분야에 유용합니다. 진공 공정 자동화의 주요 구성 요소이며, 평균 고장 시간(MTTF)이 백만 사이클 이상입니다.

솔레노이드와 위치 표시 센서는 별도로 판매됩니다.

아래에서 기술 사양을 확인하고, Ideal Vacuum Super-Seal 공압 벨로우즈 밸브 및 액세서리 제품군에 대한 전체 정보를 보려면 사용자 매뉴얼을 다운로드하세요.