Leybold TURBOVAC 90i 터보 진공 펌프, ISO-K 63 흡입구, 펌핑 속도 90 l/s, 공랭식 또는 수랭식. 이 Leybold TURBOVAC 90i 터보분자 고진공 펌프는 최대 90리터/초(l/s)의 펌핑 속도를 제공하며, ISO-K 63 흡입 플랜지와 ISO KF-16 배기 포어라인 플랜지를 갖추고 있습니다. 이 i 시리즈 터보 펌프는 최대 240W의 24VDC 입력 전원을 필요로 하며 통합 컨트롤러를 내장하고 있습니다. 모든 TURBOVAC i 시리즈 터보 펌프에는 RS485, USB 및 디지털 I/O 인터페이스를 갖춘 소형 표준 인터페이스가 포함되어 있으며, 3개의 상태 LED와 하나의 액세서리(공랭식 냉각기, 밸브, 릴레이 박스 등)를 제어할 수 있는 기능을 제공합니다. 필요한 것은 전원 공급 장치와 시작/정지 로직뿐입니다. 전원 공급 장치, 강제 공랭식 또는 수랭식 냉각 키트, 그리고 옵션으로 원격 사용자 인터페이스를 사용할 수 있습니다. 이 90i 터보 펌프의 Leybold 부품 번호는 810031V1000입니다.
Leybold TURBOVAC 90i 사양:- 입구 플랜지: ISO-K 63
- 기본 압력: 8 x 10⁻⁸ mbar (6 x 10⁻⁸ Torr)
- 작동 속도: 72000 RPM
- 근무 위치: 모든 위치
- 펌핑 속도: 90 l/s
- 냉각 방식: 강제 공기 냉각 또는 수냉식
- 배기 플랜지: KF-16
- 작동 전압: 24VDC
- 최대 출력: 240와트
- RS485, USB 및 디지털 I/O를 갖춘 소형 표준 인터페이스
- 액세서리 포트 1개
- 권장 러핑 펌프: TriVac D4B 또는 ScrollVac SC7
CF 플랜지가 장착된 TURBOVAC 90i 펌프는 진정한 초고진공(UHV) 펌프로, 모든 금속 흡기 씰 가스켓을 사용하고 진공 챔버를 완전히 세척 및 열처리할 경우
10⁻¹⁰ Torr 범위의 최종 압력을 구현할 수 있습니다. ISO-K 플랜지가 장착된 Leybold TURBOVAC 90i 터보 펌프는 고무/엘라스토머 O링 씰의 투과 및 가스 방출로 인해 최종 압력이
10⁻⁸ Torr 범위로 제한됩니다. 이 펌프의 흡기 플랜지(CF 플랜지만 해당)는 터보가 수냉식일 경우 최대 100°C까지 열처리할 수 있습니다.
펌프는 기기의 보조 전원에서 전원을 공급받거나 Leybold TURBO.CONTROL i 또는 TURBO.POWER integra를 구매하여 사용할 수 있습니다. TURBO.CONTROL i는 탁상형 또는 랙 장착형 원격 사용자 인터페이스/전원 공급 장치로, RS-485를 통해 Leybold TURBOVAC i 시리즈 펌프와 통신하여 터보 펌프를 완벽하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. TURBO.CONTROL i는 실험실 및 연구 분야에서 가장 널리 사용되는 옵션입니다. TURBO.POWER integra는 펌프 하단에 장착되는 로컬 전원 공급 장치입니다. 펌프 하단에 TURBO.POWER integra 전원 공급 장치가 장착된 Leybold TURBOVAC i 시리즈 펌프는 소형 저비용 고진공 펌핑 솔루션으로, 전자 현미경(SEM, TEM) 및 집속 이온 빔 시스템(FIB)을 포함한 다양한 분석 기기에 통합되어 사용됩니다.
최대 성능을 제공하도록 설계된 Leybold TURBOVAC i-Series 터보분자 진공 펌프는 최첨단 로터 및 드래그 스테이지 설계를 통해 특히 경질 가스에 탁월한 속도를 제공합니다. 다양한 인터페이스 옵션, 하우징 및 플랜지 구성, 그리고 액세서리를 통해 제품 라인을 완성합니다. 유지보수가 필요 없는 볼 베어링을 갖춘 독자적인 오일 프리 하이브리드 베어링 시스템은 생산성을 향상시키고 총 소유 비용을 절감해 줍니다. 기존 기준 제품 대비 최대 60% 향상된 경질 가스 펌핑 속도와 이전 세대 제품 대비 약 100배 높은 압축률을 제공하여 소형 백킹 펌프와 함께 사용하기에 특히 적합합니다. 이를 통해 진공 시스템의 크기를 대폭 줄이고, 초기 및 운영 비용을 절감하며, 설치 공간을 더욱 효율적으로 활용할 수 있습니다.
성능:- 업계 최고 수준의 경량 가스 펌핑 속도(기존 제품 대비 최대 60% 향상)
- 최적화된 로터 직경으로 최상의 펌핑 성능을 제공합니다.
유연성:- 진공 포트 설계 유연성
- 회전식 전방 진공 포트
- 온보드 터보 컨트롤러
- 전원과 시작/정지 로직만 있으면 됩니다.
- 선택 사항인 TURBO.CONTROL i 원격 사용자 인터페이스
- 컴팩트한 디자인에 옵션 사양으로 TURBO.POWER 통합 기능 탑재
설치, 작동 및 제어:- 고가의 케이블 사용을 피하기 위해 24/48V DC 구동 전자 장치가 통합되어 있습니다.
- 가장 폭넓은 통신 인터페이스: USB, RS485 및 원격 15핀 디지털 I/O를 기본 옵션으로 제공합니다.
- 고효율 모터
- 베어링 냉각 최적화 및 펌프 수명 향상을 위한 설계 단계부터 열 절연 기능을 고려했습니다.
- 혁신적인 축 지지 시스템으로 진동을 줄입니다.
- 유지보수가 필요 없는 상부 수동 자기 베어링
- 오일이 필요 없고 평생 윤활되는 하부 기계식 세라믹 볼 베어링은 현장에서 교체 가능합니다.
레이볼드 TURBOVAC i-시리즈 터보 펌프는 플러그 앤 플레이 방식입니다. 유연한 제품 설계, 통합 전자 장치 및 다양한 통신 인터페이스 덕분에 설치, 작동 및 제어가 간편합니다. 혁신적인 펌프 설계와 현재 시중에서 찾아볼 수 없는 무보수 볼 베어링을 적용한 오일 프리 하이브리드 베어링 개념으로 탁월한 신뢰성을 제공합니다. 혁신적인 샤프트 지지 시스템은 진동, 소음, 기계적 스트레스를 줄여 진동에 민감한 응용 분야에서 발생할 수 있는 부정적인 영향을 최소화합니다. 열 절연 및 고효율 모터를 통해 베어링 냉각을 최적화했으며, 베어링을 유해 가스 및 미립자로부터 보호하는 퍼지 포트도 갖추고 있습니다. 결과적으로 펌프의 가동 시간과 수명은 물론 생산성까지 크게 향상됩니다. 낮은 유지보수 비용과 결합하여 진공 시스템의 효율성을 한층 더 높여줍니다.
일반적인 터보 펌프 적용 분야는 다음과 같습니다.- 일반적인 청정 펌핑 용도
- 주사전자현미경 - SEM
- 빔 라인 및 고에너지 물리학
- 질량 분석법
- 전자 현미경
- 시료 준비
- 연구 개발
- 고에너지 물리학
- 산업
- 반도체
- 코팅
- 표면 과학 기기
사용 설명서와 Leybold i-시리즈 TURBOVAC 제품 브로셔는 다운로드에서 이용하실 수 있습니다.
