Leybold Thermovac TTR 91 N MEMS-Pirani 진공 변환기 NW16, 3.75 x 10-5 Torr ~ 대기압, 2개 설정점.
Leybold 부품 번호: 21L1211100. Leybold Thermovac TTR 91 N Micro-Pirani Transducer에는 진동 및 충격 배출에 대한 회복성이 있는 MEMS-Pirani(Micro-Electro-Mechanical-Systems) 센서가 있습니다. 91 N은 펌프 다운 사이클을 모니터링하기 위해 3.75 x 10-5 에서 750 Torr까지 측정합니다. Thermovac 트랜스미터는 아날로그 전압 출력과 설정점 릴레이(특정 모델만 해당)를 제공하는 능동 센서로, 프로세스 제어를 개선합니다. 유능한 모델에서는 내장 릴레이를 통해 프로그래밍 가능한 제어 없이도 트랜스미터에서 직접 스위칭 기능을 수행할 수 있습니다. Thermovac 시리즈 트랜스미터에는 센서 상태를 표시하는 LED 링이 장착되어 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.
