Leybold Thermovac TTR 91 RN MEMS-Pirani 진공 변환기 NW16, 3.75 x 10 -5 Torr~대기.
TTR 91 RN Leybold 부품 번호: 21L1011100, TTR 91 N 대체, PN: 230035V02. Leybold Thermovac TTR 91 RN 마이크로 피라니 변환기에는 진동 및 충격 배출에 탄력적인 MEMS-Pirani(Micro-Electro-Mechanical-Systems) 센서가 있습니다. 91 N은 펌프다운 사이클을 모니터링하기 위해 3.75 x 10 -5 ~ 750 Torr를 측정합니다. Thermovac 트랜스미터는 향상된 공정 제어를 위해 아날로그 전압 출력과 설정점 릴레이(특정 모델만 해당)를 제공하는 능동형 센서입니다. 지원 모델의 경우 내장된 릴레이를 사용하면 프로그래밍 가능한 제어 없이도 트랜스미터에서 직접 전환 기능을 수행할 수 있습니다. Thermovac 시리즈 트랜스미터에는 센서 상태를 표시하는 LED 링이 장착되어 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.
