MKS 진공 센서 카드 냉음극, 시리즈 937B 및 946 컨트롤러용.
MKS 부품 번호: 100018446. MKS 진공 센서 카드 냉음극은 937B 및 946 진공 시스템 컨트롤러와 함께 사용됩니다.
이 카드는 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에 사용됩니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 및 937B 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서와 게이지를 동시에 판독하고 제어합니다.
