MKS 범용 유량 조절 밸브, 500 sccm, 4 VCR® M Swagelok® 튜브 피팅, Viton 씰 MKS 부품 번호: 148JA52CR1M
제어 전류가 공급되면 이 범용 개조 솔레노이드 밸브는 가스 유량을 조절합니다. MKS 컨트롤러 및 적절한 유량 센서와 함께 사용하면 148J 밸브는 정확하고 정밀한 압력 또는 유량을 유지하면서 가스 유량을 조절합니다. 적용 분야에는 유량 제어, 상류 또는 하류 압력 제어가 포함됩니다. 이 모델 148JA52CR1M 밸브는 질소 500 표준 세제곱센티미터/분(sccm)의 전체 스케일 범위, 4개의 VCR® M 튜브 피팅 및 Viton 씰을 특징으로 합니다. 밸브가 닫힌 상태에서의 누출 전도도는 < 1x10⁻⁵ scc/sec He입니다.
Swagelok® 및 VCR®은 Swagelok Company의 등록 상표입니다. Vac Goop™은 Swagelok Company의 상표입니다. Ideal Vacuum Products는 Swagelok Company의 공식 유통업체가 아닙니다.
