MKS 626D 0.1 Torr 바라트론 절대 용량식 압력계, 진공 압력 게이지 센서, KF-16 플랜지 크기
MKS 부품 번호: 626D.1TDE MKS 626D 비가열식 절대압력계인 Baratron® 정전용량식 압력계는 최신 아날로그 방식의 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15VDC 입력 전압이 필요하며, 압력에 비례하는 0~10VDC의 고레벨 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급/표시 장치 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장치와 연결할 수 있습니다. 압력/진공 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이 정전용량 변화는 특허받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서에 사용된 방사형 인장 인코넬® 다이어프램은 매우 빠른 응답 속도(대부분의 경우 20ms 미만), 낮은 히스테리시스, 탁월한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 뛰어난 내식성, 그리고 작업자 안전을 위한 이중벽 용접 구조를 제공합니다. 센서 자체는 45psia(3.1bar)의 압력에 반복적으로 노출되어도 영구적인 성능 저하나 변형 없이 견딜 수 있어 사실상 모든 공정 시스템에서 작동 가능합니다. MKS 626D 바라트론 정전 용량 압력계는 상온에서 작동하며, 0.1~1000Torr의 전체 스케일 압력/진공 범위에서 사용 가능하고 다양한 산업, 전자 및 연구 분야에 적합합니다.
본 제품은 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 0.1 Torr의 최대 진공 압력 측정값, KF-16 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 626D 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 626D.1TDE입니다.
호환 컨트롤러 및 케이블:
제품 특징:
- 15핀 D-sub 커넥터를 갖춘 0~10VDC 비례 아날로그 출력
- 가스의 종류나 조성과 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정합니다.
- 최첨단 공정 반복성을 위한 장기적인 출력 안정성
- 기본 센서의 구조는 인코넬® 및 인콜로이® 니켈 합금으로 제작되어 사실상 모든 화학 환경에서 손상 없이 작동합니다.
- 높은 과압 한계는 시스템 오류 발생 시 신뢰성을 보장합니다.
- 최상의 정확도와 향상된 공정 수율을 위해 측정값의 백분율로 표시됩니다.
