MKS GM50A 질량 유량 제어기(MFC), 아날로그 제어 방식, 범위 1~50 sccm, 15핀 D-subminiature 커넥터, 4개의 VCR® 수형 단자.
MKS 부품 번호: GM50A013501RMM020. 이 MKS GM50A 질량 유량 제어기는 N₂ 또는 이와 동등한 기체에 맞춰 교정되었으며, 제어 범위는 1~50 sccm입니다. 15핀 D-subminiature 아날로그 커넥터를 갖추고 있으며, 접지 연결과 0~5VDC 유량 입력 및 출력 신호를 제공합니다. 가스 유입구 및 배출구 피팅은 Swagelok® 4 VCR® 수형입니다. 밸브 씰은 일반적으로 닫혀 있으며 테플론™ 재질입니다. 일반적인 응답 시간은 약 500밀리초입니다.
스와겔록®, VCR-TM 스와겔록® 회사
테플론™ 케무어스 컴퍼니 FC, LLC. Swagelok® 및 VCR®은 Swagelok Company의 등록 상표입니다. Vac Goop™은 Swagelok Company의 상표입니다. Ideal Vacuum Products는 Swagelok Company의 공식 유통업체가 아닙니다.
