MKS Granville Phillips 274 누드 베이어드-알퍼트 이온화 게이지, KF40 NW40 플랜지, 커넥터 잠금 링이 있는 핀 가드, 전자 충격 탈기 또는 저항 가열 탈기(컨트롤러에 따라 다름).
MKS 그랜빌 필립스 부품 번호: 274053 MKS에서 생산이 중단된 제품입니다. 직접적인 대체품은 없습니다.
MKS Graville Phillips 274 Nude Bayard-Alpert 이온화 게이지는 광범위한 작동 압력 기능을 갖춘 견고하고 개방형 게이지이며, 토리아 코팅 이리듐 필라멘트(KF40 NW40)를 사용하고, 압력 범위는 1× 10⁻³ ~ 2× 10⁻¹¹ Torr이며, 최대 베이크아웃 온도는 450°C입니다.
Granville Phillips 274 이온화 게이지는 X선 투과 한계가 2x10⁻¹¹ Torr로, 1 mTorr에서 2x10⁻¹⁰ Torr까지 안정적인 압력 측정을 제공하며, 2x10⁻¹⁰ Torr 미만의 압력에서는 성능이 저하됩니다. Granville Phillips 274는 매우 얇은 집전체를 사용하여 X선 투과 한계를 5x10⁻¹² Torr까지 낮췄습니다. 그 결과, 1 mTorr에서 5x10⁻¹¹ Torr까지 압력을 측정할 수 있으며, 5x10⁻¹¹ Torr 미만의 압력에서는 성능이 저하됩니다.
격자 구조가 진공 챔버 내부로 돌출되도록 제대로 장착된 누드 게이지는 국소 진공 압력과 챔버 압력의 일치 측면에서 가장 낮은 오차를 제공합니다. 그랜빌 필립스 게이지는 바리안의 애질런트 XGS-600 게이지 컨트롤러와 쉽게 연동되어 다양한 진공 시스템에 통합하거나 독립형 압력 측정 도구로 사용할 수 있습니다.
일반적으로 다음과 같은 대상과 협업합니다:- MKS Granville Phillips 모델: 260, 270, 280, 303, 306, 307, 330, 340, 350 등.
- MKS Instruments 모델: 290, 919, 929
- 퍼킨 엘머 모델: DGC3
- Varian Agilent 모델: 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 멀티 게이지, Varian 571 튜브 K2471301, XGS-600
- Veeco 모델: RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002
