MKS Granville Phillips 275 Convectron 게이지 진공 압력 측정 센서, NW KF 25 플랜지
MKS 그랜빌 필립스 부품 번호: 275196 MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기압에서 1x10⁻⁴ Torr까지의 진공 압력을 측정할 수 있으며, 러핑 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지처럼 수 초가 아닌 밀리초 단위로 빠르고 안정적인 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 공정이 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장합니다. 그러나 측정 대상 가스의 화학적 조성에 민감하며, 상대 압력 측정 방식이라고 합니다. 즉, 가스 매체의 열전도율 특성을 이용하여 간접적으로 압력을 측정합니다. (사진에 보이는 MKS Granville Phillips 375 컨벡트론 컨트롤러는 별도 구매 가능하며, 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)