MKS Granville-Phillips 355 마이크로 이온 ATM 모듈형 진공 압력 변환기, 디지털 디스플레이(Torr 판독값), DeviceNet, 이트리아 코팅 이리듐 필라멘트, 2.75인치 CF 입구
1 × 10⁻⁹ Torr에서 대기압까지의 압력 측정
MKS Granville-Phillips 355 마이크로 이온 ATM 모듈은 검증된 마이크로 이온화 게이지 기술과 소형 컨덕트론 열손실 센서를 결합하여 고진공에서 대기압까지 정확하고 연속적인 압력 측정을 제공합니다. 다이어프램 센서를 사용하는 이 제품은 대기압까지 정확한 절대 압력을 제공할 뿐만 아니라 진공 챔버와 주변 압력 간의 차압을 정밀하게 표시합니다. 독창적인 센서 설계는 고압에서 열손실 센서의 성능에 영향을 미칠 수 있는 열 효과를 제거합니다.
이 소형 모듈은 4개의 센서와 제어 전자 장치를 하나의 컴팩트한 모듈형 설계로 통합하여 챔버에 필요한 게이지 수를 줄이고 설치 공간을 최소화합니다. 전체 압력 범위 측정은 DeviceNet 디지털 인터페이스를 통해 제공됩니다. 이 DeviceNet 버전에는 공정 제어를 위한 설정 가능한 설정값이 포함되어 있어 릴레이를 진공 압력 범위 전체 또는 특정 차압 값에 할당할 수 있습니다.
혜택은 다음과 같습니다:- 1 × 10⁻⁹ Torr의 고진공에서 대기압까지 연속적인 압력 측정이 가능합니다.
- 대기압에서의 정밀 차압 측정.
- 별도의 대기압 스위치가 필요 없어집니다.
- 별도의 센서 3개가 필요 없어집니다.
- 이트리아 코팅 이리듐 이온화 게이지 필라멘트는 장비 가동 시간을 향상시킵니다.
- 자동 이온화 게이지 활성화 및 비활성화.
- 공정 제어를 위한 설정 가능한 설정값 릴레이.
- 현장에서 교체 가능한 게이지 어셈블리.
- DeviceNet 디지털 출력.
모듈형 진공 게이지는 전면 패널 디스플레이 및 제어 장치가 필요하지 않은 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이 소형, 편리하고 신뢰할 수 있으며 비용 효율적인 모듈은 제어 전자 장치가 게이지에 직접 장착되어 있습니다. 견고한 금속 재질로 제작되어 내구성이 뛰어나고 전기적 노이즈에 대한 내성이 우수합니다.
미니 컨벡트론 모듈은 최신 전자 기술을 사용하여 그랜빌-필립스
® 컨벡트론
® 게이지를 작동시킵니다. 컨벡트론 게이지는 업계 표준으로 자리 잡았습니다. 이는 센서 와이어의 열 손실률을 기반으로 압력을 측정하는 독특한 열전도도 게이지의 변형입니다. 전도에 의한 열 손실에만 의존하는 기존의 열전대 및 피라니 게이지와 달리, 컨벡트론 게이지는 고압에서 발생하는 대류에 의한 열 손실까지 활용합니다. 이러한 특징 덕분에 정확하고 반복 가능한 압력 측정 범위를 대기압까지 확장할 수 있습니다.
