새로운 MKS HPS® 시리즈 910 DualTrans™ 마이크로피라니 절대 피에조 트랜스듀서, KF25, RS485, 디스플레이, 릴레이 없음
MKS 910-21024 DualTrans™ MicroPirani™/절대 피에조 진공 트랜스듀서는 광범위한 압력 측정 애플리케이션에 특화되어 설계되었으며, NW25 ISO-KF 플랜지 피팅을 특징으로 합니다. 결합된 출력은 기존 열전도 게이지보다 훨씬 높은 정확도, 안정성, 반복성 및 빠른 응답 시간을 제공합니다. 910은 두 가지 압력 측정 기술을 결합하여 탁월한 성능과 기능을 제공합니다. 910은 11~1500 Torr 범위에서 가스 종류에 관계없이 절대 압력을 측정할 수 있으며, 열전도 센서보다 정확도가 향상되었습니다. 기존 피라니 게이지와 달리 MicroPirani의 센서 소자는 1mm 정사각형의 실리콘 칩으로 제작되어 매우 작은 부피 내에서 측정이 가능합니다. MicroPirani 기술 덕분에 910은 표준 피라니 센서보다 20배 낮은 10⁻⁵ Torr까지 압력을 측정할 수 있습니다. 센서 설계는 대류의 영향을 최소화하여 910을 어떤 방향으로 장착하더라도 정확도가 저하되지 않습니다.
피에조 센서는 절대 압력 센서로, 가스 종류에 관계없이 직접적인 압력 측정을 제공합니다. 피에조 센서는 1 Torr 미만에서 1500 Torr까지 측정 가능합니다. 910 모델은 RS232 디지털 통신 인터페이스를 통해 트랜스듀서 파라미터를 설정하고 실시간 압력 측정을 제공합니다. 또한, 910 모델은 1VDC/decade의 아날로그 압력 출력을 제공하여 외부 아날로그 장비에 연결하여 압력 판독 또는 제어할 수 있습니다. 다른 아날로그 출력 및 곡선은 디지털 사용자 인터페이스를 통해 선택할 수 있습니다. 910 모델에는 공정 제어에 사용할 수 있는 3개의 기계식 릴레이가 내장되어 있어, 예를 들어 차단 밸브 및 진공 펌프를 연동 제어할 수 있습니다. 각 설정값은 피에조 측정 또는 마이크로피라니/피에조 결합 절대 측정 중 하나에 할당할 수 있습니다. 910 모델의 컴팩트한 설계는 진공 게이지가 차지하는 공간을 크게 줄여줍니다. 이는 시스템 설계자에게 특히 매력적이며, 더욱 컴팩트한 진공 시스템 구축을 가능하게 합니다. 참고: 전체 사양은 측면 다운로드 섹션의 PDF 파일을 참조하십시오.
