MKS 진공 센서 카드, 정전 용량식 압력계 및 피에조 센서(937B 및 946 시리즈 컨트롤러용).
MKS 부품 번호: 20057714-001
기존 MKS 부품 번호: 100015267 MKS 진공 센서 카드는 937B 및 946 진공 시스템 컨트롤러와 함께 정전식 압력계 및 압전 센서를 지원합니다.
이 카드들은 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에 사용됩니다. 유량 설정값은 전면 패널 컨트롤을 통해 또는 후면 패널의 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 및 937B 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서 및 게이지를 동시에 판독 및 제어할 수 있습니다.
