Pfeiffer HiPace 300H 고성능 터보 펌프(TC 110 구동 장치 포함), Conflat CF 6.0인치 흡입 플랜지, 펌핑 속도 260 l/s, 수냉식, PN: PM P05 541 C

DN100 CF Conflat CF 6.0인치 입구 플랜지를 갖춘 Pfeiffer HiPace 300H 고성능 터보 분자 고진공 펌프는 초당 260리터(l/s)의 펌핑 속도와 3.5 x ^10-10 Torr의 도달 압력을 제공합니다. 이 고성능 펌프는 특히 가벼운 가스에 대해 높은 압축률을 제공합니다. 이 Pfeiffer HiPace 300H 펌프는 펌프 측면에 내장된 TC 110 구동 장치와 ISO KF-16 배기 포어라인 플랜지를 갖추고 있습니다. 펌프는 어떤 방향으로든 장착할 수 있습니다. 최대 180W의 24VDC 입력 전원이 필요합니다. CF 6.0인치 입구 플랜지와 TC 110 구동 장치를 갖춘 이 HiPace 300H 고성능 터보 펌프는 수냉 키트가 기본으로 제공되며, Pfeiffer 부품 번호는 PM P05 541 C입니다.

포함된 TC 110 드라이브 유닛은 펌프 전원 공급을 위한 단일 X3(15핀 D-Sub) 커넥터, RS485 통신, 그리고 공기 냉각 팬 또는 솔레노이드 벤트 밸브 제어용 액세서리 포트를 포함하는 소형 온보드 컨트롤러입니다. OEM(Original Equipment Manufacturer) 및 시스템 통합 애플리케이션의 경우, 펌프 시동에 필요한 것은 적절한 24VDC 전원 공급 장치와 시동/정지 로직뿐입니다. 실험실 애플리케이션의 경우, 전원 공급과 펌프 제어를 모두 지원하는 300W Pfeiffer OmniControl 300 컨트롤러를 권장합니다. OmniControl 300은 벤치탑 또는 랙 장착형 원격 사용자 인터페이스/전원 공급 장치로, RS485를 통해 Pfeiffer HiPace 시리즈 터보 펌프와 통신하고 완벽한 모니터링 및 제어 기능을 제공합니다.

당사는 OmniControl 300 펌프 컨트롤러, 흡입 스크린, 강제 공기 냉각 키트, 솔레노이드 작동식 환기 밸브, 히터 밴드(Conflat CF 플랜지 펌프에만 해당) 등 다양한 옵션 액세서리를 제공합니다.

CF 6.0인치 입구 및 TC 110 구동 장치가 장착된 Pfeiffer HiPace 300H 고성능 터보 펌프 사양:

• 부품 번호: PM P05 541 C
• 입구 플랜지: Conflat CF 6.0 인치
• 기저 압력: 3.5 x ^10-10 Torr
• 고진공 플랜지에서의 최대 베이크아웃 온도: 120°C
• 작동 속도: 60,000 RPM
• 장착 방향: 임의
• 펌핑 속도: 260 l/s
• 냉각 방식 표준: 물(50 l/h, 15~25 °C)
• 냉각 방식 선택 사항: 강제 공기
• 배기 플랜지: KF-16, G 1/4인치(BSPP)
• 환기 연결: G 1/8인치(BSPP)
• 통합 컨트롤러: TC 110 드라이브 유닛
• 작동 전압: 24VDC
• 최대 전력: 300와트
• 준비 시간: 1.8분
• 인터페이스: M12 커넥터를 통한 RS485
• 리모컨: 고밀도 26핀 Sub-D 커넥터
• 액세서리 포트: M12 소켓 2개, A 및 B로 표시됨
• 추천 러핑 펌프: HiScroll 12 건식 스크롤 펌프

Pfeiffer Vacuum HiPace 터보펌프 시리즈는 검증된 하이브리드 베어링을 사용한 독특한 로터 설계를 특징으로 합니다. HiPace 펌프는 높은 펌핑 속도와 높은 가스 처리량, 그리고 가벼운 가스에 대한 높은 압축률을 제공합니다. HiPace 펌프는 터보 분자식 및 드래그 단계를 모두 갖추고 있어 높은 배압 라인 압력에 대한 내성을 향상시키고 모든 가스 종류에 걸쳐 향상된 펌핑 속도를 제공합니다. HiPace 하이브리드 베어링은 전진공 측에 세라믹 볼 베어링, 고진공 측에 영구 자석 레이디얼 베어링을 결합한 구조입니다. 이 베어링 기술은 전자석을 필요로 하지 않으며, 일반적으로 약 4년의 유지보수 주기로 긴 수명을 제공합니다. 향상된 성능 외에도 모든 HiPace 터보펌프는 현장 정비가 가능한 오일 카트리지와 샤프트 베어링을 갖추고 있어 가동 중단 시간을 크게 줄여줍니다.

Conflat CF 플랜지가 있는 Pfeiffer HiPace 펌프는 최대 진공도가 ^10-10 Torr 범위인 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다(전금속 흡기 씰 개스킷을 사용하고 진공 챔버를 완전히 세척 및 베이크 아웃한 경우). ISO 플랜지가 있는 터보 펌프는 (고무/엘라스토머 O-링 씰의 침투 및 가스 방출로 인해) 최대 진공도가 ^10-8 Torr 범위로 제한됩니다. Conflat 플랜지가 있는 HiPace 펌프의 흡입구는 터보가 수냉식일 경우 최대 120°C까지 베이크될 수 있습니다.

일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다.

• 일반 클린 펌핑 응용 프로그램
• 주사전자현미경(SEM)
• 빔 라인과 고에너지 물리학
• 질량 분석법
• 전자 현미경
• 샘플 준비
• 연구개발
• 고에너지 물리학
• 산업
• 반도체
• 코팅
• 표면 과학 기기

펌프 사용 설명서와 Pfeiffer HiPace 펌프 제품 브로셔는 다운로드에서 이용할 수 있습니다.