TC 80 구동 장치가 장착된 Pfeiffer HiPace 80 Neo 터보펌프, Conflat CF 4.5인치 입구 플랜지, 펌핑 속도 67 l/s, 공랭 또는 수랭. 파이퍼 부품 번호: PM P080 311 10. Conflat CF 4.5인치 입구 플랜지가 장착된 Pfeiffer HiPace 80 Neo 터보 분자 고진공 펌프는 초당 67리터(l/s)의 펌핑 속도와 3.5 x
10-10 Torr의 도달 압력을 제공합니다. 이 Pfeiffer HiPace 80 Neo 터보 펌프는 펌프 측면에 내장된 TC 80 구동 장치와 ISO KF-16 배기 포어라인 플랜지를 갖추고 있습니다. 펌프는 어떤 방향으로든 장착할 수 있습니다. 최대 110W의 24VDC 입력 전원이 필요합니다. CF 4.5인치 입구 플랜지와 TC 80 구동 장치가 장착된 이 HiPace 80 Neo 터보 펌프의 Pfeiffer 부품 번호는 PM P080 311 10입니다.
포함된 TC 80 드라이브 장치는 펌프 전원 공급, RS485 통신 및 액세서리 포트(공기 냉각 팬 또는 솔레노이드 벤트 밸브 제어용)를 위한 단일 X3(15핀 D-Sub) 커넥터를 포함하는 소형 온보드 컨트롤러입니다. OEM(Original Equipment Manufacturer) 및 시스템 통합 애플리케이션의 경우 펌프를 시작하는 데 필요한 것은 시작/정지 로직과 함께 적합한 24VDC 전원 공급 장치뿐입니다. 실험실 애플리케이션의 경우 전원을 공급하고 펌프를 제어할 수 있는 200와트 Pfeiffer OmniControl 200 컨트롤러를 권장합니다. OmniControl 200은 RS485를 통해 Pfeiffer HiPace 시리즈 터보 펌프와 통신하고 전체 모니터링 및 제어를 제공하는 벤치탑 또는 랙 장착형 원격 사용자 인터페이스/전원 공급 장치입니다. 또는 Pfeiffer TC 80 컨트롤러를 사용하여 전원을 공급하고 펌프를 제어할 수도 있습니다. 펌프와 컨트롤러를 상호 연결하고 RS485 커넥터와 액세서리 포트를 분리하려면 Pfeiffer 케이블 부품 번호 P103335 또는 P1011168을 사용하세요.
당사는 OmniControl 200 및 DCU 110 펌프 컨트롤러, 흡입 스크린, 강제 공기 냉각 및 수냉 키트, 솔레노이드 작동 환기 밸브, 히터 밴드(Conflat CF 플랜지 펌프에만 해당)를 포함한 다양한 옵션 액세서리를 제공합니다.
Conflat CF 4.5인치 인렛과 TC 80 드라이브 유닛을 탑재한 Pfeiffer HiPace 80 Neo 터보펌프 사양:- 부품 번호: PM P080 311 10
- 입구 플랜지: Conflat CF 4.5 인치
- 기저 압력: 3.5 x 10-10 Torr
- 고진공 플랜지에서의 최대 베이크아웃 온도: 120°C
- 작동 속도: 90,000 RPM
- 장착 방향: 임의
- 펌핑 속도: 67 l/s
- 냉각 방식 표준: 대류
- 냉각 방법 선택 사항: 강제 공기 또는 물(75 l/h, 15~25 °C)
- 배기 플랜지: KF-16, G 1/4인치(BSPP)
- 환기 연결: G 1/8인치(BSPP)
- 통합 컨트롤러: TC 110 드라이브 유닛
- 작동 전압: 24VDC
- 최대 전력: 110와트
- 런업 시간: 1.7분
- 인터페이스: RS485, 원격, 15핀 D-Sub X3 커넥터를 통해
- 액세서리 포트: 2~15핀 D-Sub X3 커넥터
- 입력 전원: 15핀 D-Sub X3 커넥터를 통해
- 추천 러핑 펌프: HiScroll 6 건식 스크롤 펌프
Pfeiffer Vacuum HiPace 터보펌프 시리즈는 검증된 하이브리드 베어링을 사용한 독특한 로터 설계를 특징으로 합니다. HiPace 펌프는 높은 펌핑 속도와 높은 가스 처리량, 그리고 가벼운 가스에 대한 높은 압축률을 제공합니다. HiPace 펌프는 터보 분자식 및 드래그 단계를 모두 갖추고 있어 높은 배압 라인 압력에 대한 내성을 향상시키고 모든 가스 종류에 걸쳐 향상된 펌핑 속도를 제공합니다. HiPace 하이브리드 베어링은 전진공 측에 세라믹 볼 베어링, 고진공 측에 영구 자석 레이디얼 베어링을 결합한 구조입니다. 이 베어링 기술은 전자석을 필요로 하지 않으며, 일반적으로 약 4년의 유지보수 주기로 긴 수명을 제공합니다. 향상된 성능 외에도 모든 HiPace 터보펌프는 현장 정비가 가능한 오일 카트리지와 샤프트 베어링을 갖추고 있어 가동 중단 시간을 크게 줄여줍니다.
Conflat CF 플랜지가 있는 Pfeiffer HiPace 펌프는 최대 진공도가
10-10 Torr 범위인 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다(전금속 흡기 씰 개스킷을 사용하고 진공 챔버를 완전히 세척 및 베이크 아웃한 경우). ISO 플랜지가 있는 터보 펌프는 (고무/엘라스토머 O-링 씰의 침투 및 가스 방출로 인해) 최대 진공도가
10-8 Torr 범위로 제한됩니다. Conflat 플랜지가 있는 HiPace 펌프의 흡입구는 터보가 수냉식일 경우 최대 120°C까지 베이크될 수 있습니다.
일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다.- 일반 클린 펌핑 응용 프로그램
- 주사전자현미경(SEM)
- 빔 라인과 고에너지 물리학
- 질량 분석법
- 전자 현미경
- 샘플 준비
- 연구개발
- 고에너지 물리학
- 산업
- 반도체
- 코팅
- 표면 과학 기기
펌프 사용 설명서와 Pfeiffer HiPace 펌프 제품 브로셔는 다운로드에서 이용할 수 있습니다.
