원자층 증착(ALD) 액체 전구체 증기 공급 실린더 시스템
원통 부피: 150cm³
실린더 등급: DOT-3E-1800 화학 기상 증착(CVD), 금속유기화학 기상 증착(MOCVD) 및 원자층 증착(ALD) 공정에서는 액체 전구체로부터 기체 상태의 증기를 제어된 방식으로 공급해야 합니다. 이러한 액체 증기 공급 실린더에는 전구체 증기를 완충 가스 흐름 내에 유지하는 데 도움이 되는 버블러가 내장되어 있습니다. 이 증기 공급 실린더는 내화학성이 뛰어난 316 스테인리스강으로 제작되었으며, 입구와 출구에 1/4회전 볼 밸브가 장착되어 있습니다. 실린더는 37°C에서 최대 1800 PSI의 압력을 견딜 수 있도록 설계되었습니다.
실린더의 최대 압력 등급은 온도에 따라 다릅니다. 실린더에 해당 온도 제한을 초과하여 압력을 가하지 마십시오.
각 밸브에는 유동 방향이 인쇄되어 있으며, 완충 가스가 증착 공정 방향으로 올바른 흐름으로 흐르면 실린더 바닥에서 기포가 형성되어 전구체 액체를 통해 상승합니다.これにより、温細能が除完農が減されます。이를 통해 완충 가스(일반적으로 헬륨, 네온 또는 아르곤) 내에서 희석된 전구체 증기가 일정하고 안정적으로 흐를 수 있습니다. 이러한 액체 전구체 증기 공급 가스 실린더는 가열 또는 냉각 기능을 갖추어 증기압과 전구체 농도를 제어할 수 있습니다. 이를 통해 정확한 유량 농도를 생성할 수 있습니다.
입구 및 출구 밸브는 ¼인치 Swagelok® 피팅 볼 밸브이며, 발화성 액체에는 적합하지 않습니다. 인화성이 매우 높은 발화성 액체를 사용하는 ALD 공정의 경우, 안전성 향상을 위해 당사의 공급 실린더는 다이어프램 밸브로 업그레이드되어 트리메틸알루미늄(TMA), 트리에틸알루미늄(TEA), 디에틸아연(DEZn), 트리메틸갈륨(TMGa)과 같은 발화성 액체에도 적용 가능합니다.
Swagelok® 및 VCR®은 Swagelok Company의 등록 상표입니다. Vac Goop™은 Swagelok Company의 상표입니다. Ideal Vacuum Products는 Swagelok Company의 공식 유통업체가 아닙니다.
