파이퍼 하이페이스 800 터보 펌프(TC 400 구동 장치, 콘플랫 CF 10.0인치 흡입 플랜지, 790 l/s 펌핑 속도, 수냉식, 부품 번호: PM P04 301)

Pfeiffer HiPace 800 터보분자 고진공 펌프는 DN200 CF Conflat CF 10.0인치 흡입 플랜지를 갖추고 있으며, 펌핑 속도는 초당 790리터(l/s), 최종 압력은 3.5 x ^10⁻¹⁰ Torr입니다. 이 Pfeiffer HiPace 800 펌프는 펌프 측면에 통합된 TC 400 구동 장치와 ISO KF-25 배기 포어라인 플랜지를 제공합니다. 펌프는 어떤 방향으로든 설치할 수 있습니다. 최대 420W의 48VDC 입력 전원이 필요합니다. CF 10.0인치 흡입구와 TC 400 구동 장치가 장착된 이 HiPace 800 터보 펌프는 수냉 키트가 기본으로 제공되며, Pfeiffer 부품 번호는 PM P04 301입니다.

포함된 TC 400 구동 장치는 RS485 통신 인터페이스, 원격 작동용 D-sub 커넥터, 그리고 두 개의 액세서리 포트(공랭식 팬 또는 솔레노이드 벤트 밸브 제어용)를 갖춘 소형 온보드 컨트롤러입니다. OEM(주문자 생산 방식) 및 시스템 통합 애플리케이션의 경우, 펌프를 시동하는 데 필요한 것은 적합한 48VDC 전원 공급 장치와 시동/정지 로직뿐입니다. 실험실 애플리케이션의 경우, 전원 공급과 펌프 제어를 모두 수행할 수 있는 400W Pfeiffer OmniControl 400 컨트롤러를 권장합니다. OmniControl 400은 벤치탑 또는 랙 마운트형 원격 사용자 인터페이스/전원 공급 장치로, RS485를 통해 Pfeiffer HiPace 시리즈 터보 펌프와 통신하고 완벽한 모니터링 및 제어 기능을 제공합니다.

당사는 OmniControl 400 펌프 컨트롤러, 흡입 스크린, 강제 공랭 키트, 솔레노이드 작동식 벤트 밸브 및 히터 밴드(Conflat CF 플랜지 펌프에만 해당)를 포함한 다양한 옵션 액세서리를 제공합니다.

CF 10.0" 흡입구와 TC 400 구동 장치를 갖춘 Pfeiffer HiPace 800 터보 펌프 사양:

• 부품 번호: PM P04 301
• 입구 플랜지: Conflat CF 10.0 인치
• 기본 압력: 3.5 x ^10⁻¹⁰ Torr
• 고진공 플랜지에서의 최대 베이킹 온도: 120°C
• 작동 속도: 49,200 RPM
• 장착 방향: 어느 방향이든 가능
• 펌핑 속도: 790 l/s
• 냉각 방식 표준: 물(100리터/시간, 15~25°C)
• 냉각 방식 (선택 사항): 강제 공기 순환
• 배기 플랜지: KF-25, G 1/4" (BSPP)
• 통풍 연결부: G 1/8” (BSPP)
• 통합 컨트롤러: TC 400 구동 장치
• 작동 전압: 48VDC
• 최대 출력: 420와트
• 준비 시간: 2분
• 인터페이스: RS485 (M12 커넥터 포함)
• 원격 제어: 고밀도 26핀 Sub-D 커넥터
• 액세서리 포트: M12 소켓 2개(A 및 B로 표시됨)
• 권장 조압 펌프: HiScroll 12 건식 스크롤 펌프

파이퍼 진공(Pfeiffer Vacuum)의 HiPace 시리즈 터보펌프는 검증된 하이브리드 베어링을 적용한 독창적인 로터 설계가 특징입니다. HiPace 펌프는 높은 펌핑 속도와 가스 처리량은 물론, 경질 가스에 대한 높은 압축률을 제공합니다. HiPace 펌프는 터보분자 단계와 드래그 단계를 모두 갖추고 있어 높은 배압에 대한 내성을 향상시키고 모든 가스 종류에 걸쳐 향상된 펌핑 속도를 제공합니다. HiPace 하이브리드 베어링은 전진공 측에 세라믹 볼 베어링, 고진공 측에 영구 자석 레이디얼 베어링을 결합한 기술입니다. 이 베어링 기술은 전자석을 필요로 하지 않으며, 일반적인 유지보수 주기가 약 4년으로 길어 긴 수명을 자랑합니다. 향상된 성능 외에도 모든 HiPace 터보펌프는 현장에서 정비 가능한 오일 카트리지와 샤프트 베어링을 갖추고 있어 가동 중지 시간을 획기적으로 줄여줍니다.

Conflat CF 플랜지가 장착된 Pfeiffer HiPace 펌프는 ^10⁻¹⁰ Torr 범위의 극한 압력을 구현하는 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다(모든 금속 흡기 씰 가스켓을 사용하고 진공 챔버를 완전히 세척 및 베이킹 처리할 경우). ISO 플랜지가 장착된 터보 펌프는 고무/엘라스토머 O링 씰의 투과 및 가스 방출로 인해 극한 압력이 ^10⁻⁸ Torr 범위로 제한됩니다. Conflat 플랜지가 장착된 HiPace 펌프의 흡기구는 터보가 수냉식인 경우 최대 120°C까지 베이킹 처리할 수 있습니다.

일반적인 터보 펌프 적용 분야는 다음과 같습니다.

• 일반적인 청정 펌핑 용도
• 주사전자현미경 - SEM
• 빔 라인 및 고에너지 물리학
• 질량 분석법
• 전자 현미경
• 시료 준비
• 연구 개발
• 고에너지 물리학
• 산업
• 반도체
• 코팅
• 표면 과학 기기

펌프 사용 설명서와 파이퍼 하이페이스 펌프 제품 브로셔는 다운로드에서 이용하실 수 있습니다.