Controlador de Fluxo de Massa (MFC) MKS GM50A com controle analógico, faixa de 2 a 100 sccm, conector D-subminiature de 15 pinos, 4 VCR® macho. PN: GM50A013102RMM020.
Número de peça MKS: GM50A013102RMM020. Este controlador de fluxo de massa MKS GM50A é calibrado para N₂ ou equivalente, com uma faixa de controle de 2 a 100 sccm. Possui um conector analógico D-subminiature de 15 pinos com terras interligadas e sinais de entrada e saída de fluxo de 0 a 5 VCC. As conexões de entrada e saída de gás são Swagelok® 4 VCR® macho. A vedação da válvula é normalmente fechada e feita de Teflon™. Os tempos de resposta típicos são da ordem de 500 milissegundos.
Swagelok®, VCR-TM Swagelok® Company
Teflon-TM The Chemours Company FC, LLC. Swagelok® e VCR® são marcas registradas da Swagelok Company. Vac Goop™ é uma marca comercial da Swagelok Company. A Ideal Vacuum Products não é uma distribuidora autorizada da Swagelok Company.
