Medidor de vácuo Pirani ativo Edwards APG200-XLC, resistente à corrosão, sem ponto de ajuste, NW16, flange KF16, atmosfera até 7,5x10 -5 Torr, saída analógica 0-10V.
Número de peça Edwards D1G2011100, (substitui APG100-XLC D02603000). O medidor de vácuo Pirani ativo Edwards APG200-XLC (filamento de platina/irídio resistente à corrosão) contém um flange NW16, KF16, é compacto para fácil instalação, possui uma saída linear e um
tubo sensor substituível pelo usuário. Os novos medidores Edwards são compatíveis com todos os controladores de instrumentos Edwards TIC, ADC, TAG e outros controladores e monitores de medidores ativos. Eles também são aprovados pela CSA, C/US e totalmente compatíveis com RoHS devido à sua construção sem chumbo. Eles medem a pressão da atmosfera até 7,5x10
-5 Torr. Cabo de sinal e controlador não fornecidos. O cabo de sinal e o controlador do medidor de vácuo são vendidos separadamente. Esses medidores de vácuo Edwards APG200-XLC Active Pirani com filamento de platina/irídio com resistência à corrosão e flange de vácuo NW16 são novos com número de peça Edwards D1G2011100.
O APG200 está disponível em três versões: séries M, LC e MP. A série M contém filamentos padrão de tungstênio/rênio, pode medir pressão atmosférica até 3,75x10
-4 Torr e é adequada para aplicações gerais. A versão LC contém filamentos de platina/irídio resistentes à corrosão, pode medir pressão atmosférica até 7,5x10
-5 Torr e também é adequada para uso em aplicações corrosivas. A série MP contém filamentos de platina/ródio, pode medir pressão atmosférica até 3,75x10
-4 Torr e é adequada para aplicações gerais. O manual de instruções para estes medidores da série Edwards APG200 está disponível em formato PDF abaixo.
O APG200 pode ser montado em qualquer orientação, porém os tubos medidores são calibrados individualmente de fábrica em nitrogênio enquanto verticais. Para uma indicação correta da pressão na orientação do manômetro escolhida, o manômetro deve ser recalibrado na pressão atmosférica. A Edwards recomenda montar o tubo do medidor verticalmente para minimizar o acúmulo de partículas do processo e vapores condensáveis dentro do medidor. O APG200 é calibrado para uso em nitrogênio e fará a leitura corretamente com ar seco, oxigênio e monóxido de carbono. Para qualquer outro tipo de gás é necessária uma conversão para obter a leitura correta da pressão, gases comuns: nitrogênio, argônio, dióxido de carbono, hélio, criptônio e néon.
Características incluem:- Fácil acesso ao cabo de sinal com gabinete compacto
- Sensor pode ser cozido a 150°C (300°F) e o sensor pode ser substituído pelo usuário
- Ponto de ajuste ajustável para controle e intertravamento simples do processo
- Calibração remota possível
- Resistente a corrosão
- Faixa de pressão 10 -5 Torr
Antecedentes dos medidores Pirani e convecção aprimorados Pirani Os medidores de vácuo Pirani podem ser classificados como medidores de condutividade térmica, sendo muito semelhantes ao medidor de termopar, onde a resistência do fio aquecido é medida para determinar a pressão do vácuo. Um medidor Pirani é projetado para medir o desequilíbrio de resistência onde o filamento aquecido forma um dos braços de um circuito de ponte de Wheatstone. À medida que a pressão do vácuo aumenta, as moléculas de gás transportam o calor para longe do filamento e a resistência do sensor de pressão se moverá para um valor mais baixo, o que desequilibra o circuito. A pressão de vácuo é, portanto, calculada a partir do desequilíbrio induzido pela pressão no circuito da ponte de Wheatstone. Assim como acontece com os medidores de termopares, a condutividade térmica por colisões moleculares aumenta linearmente com a pressão na faixa de pressão de 0,001 a 1 Torr. No entanto, a remoção de calor torna-se não linear à medida que a pressão aumenta ainda mais para o regime de fluxo viscoso, onde a colisão gás-gás pode reorientar as moléculas de volta para o fio aquecido. As moléculas precisam colidir muitas vezes antes de atingirem o corpo externo do sensor (o dissipador térmico). Os medidores Pirani aprimorados por convecção aproveitam a corrente convencional dentro do sensor para estender sua faixa de medição de pressão até a pressão atmosférica.
O manômetro Pirani é um sensor de medição indireta de pressão onde as leituras medidas dependem do tipo de gás. Deve-se tomar cuidado com o fato de que gases mais pesados têm baixas taxas de transferência de calor e que os medidores Pirani padrão, aprimorados por convenção, são calibrados para N2 (basicamente a mesma calibração do ar). Isso pode levar a condições perigosas de sobrepressão ao preencher sistemas de vácuo com um gás mais pesado como o argônio. O perigo surge se o operador do sistema de vácuo não corrigir a leitura do medidor para o tipo de gás correto, por exemplo, um medidor padrão calibrado para N2 exibe 24 Torr quando a câmara está em 760 Torr de argônio. O operador seria enganado ao pensar que a câmara ainda estava sob vácuo e continuaria a aumentar o sistema para um estado crítico de sobrepressão. Outra fonte de erro pode ser produzida se o medidor Pirani aprimorado por convecção não for montado corretamente; a maioria dos sensores comerciais exige que eles sejam montados paralelamente ao solo. Isso mantém a corrente convencional dentro do sensor fluindo na direção projetada (erros de 20% ou mais podem ser facilmente introduzidos se o sensor Pirani com convenção aprimorada não for montado horizontalmente).
A evacuação rápida desses sensores Pirani aprimorados por convecção produzirá erros de medição significativos por um curto período de vários segundos. À medida que os gases bombeados rapidamente se expandem, a remoção de calor do filamento do sensor de pressão não é uma corrente de convecção normal, mas é impulsionada por convecção forçada. Enquanto a pressão do vácuo cai rapidamente, os gases se expandem e esfriam, o que fornece um caminho secundário para remover o calor do fio quente do sensor. O medidor Pirani aprimorado por convecção pode exibir falsamente altas pressões de até 1.000 Torr durante a evacuação do sistema. Assim que o fluxo de gases for interrompido, a leitura da pressão estabilizará novamente para um valor medido realista. Por estas razões, os medidores Pirani com convecção aprimorada não são adequados para medir mudanças de pressão sob condições de bombeamento dinâmico. No geral, o Pirani aprimorado por convecção é um manômetro de vácuo bruto popular e econômico que pode medir desde a atmosfera até 1x10-4 Torr, sendo as medições abaixo de 1 Torr as mais precisas.
