Simulador de manômetro de vácuo com termopar Agilent Varian 531 e tubo de referência.
Este é um simulador de medidor de termopar Agilent Varian 531 com tubo de referência. Ele simula pressões de 2,0 Torr e 1 × 10⁻³ Torr. O tubo de referência é selado permanentemente com vácuo interno a uma pressão de ≤ 5 × 10⁻⁶ Torr.
Manômetros de vácuo com termopar
Os medidores de condutividade térmica baseiam-se no fato de que a capacidade de um gás conduzir calor diminui com a pressão. Nesse tipo de medidor, um filamento metálico é aquecido pela passagem de corrente elétrica. Um termopar ou um detector de temperatura resistivo (RTD) pode então ser usado para medir a temperatura do filamento. Essa temperatura depende da taxa na qual o filamento perde calor para o gás circundante e, portanto, da condutividade térmica. Uma variante comum é o medidor de Pirani, que utiliza um único filamento de platina como elemento de aquecimento e RTD. Esses medidores têm precisão de 20 Torr a 10⁻³ Torr (dependendo do modelo do sensor e do controlador adquiridos). No entanto, eles são sensíveis à composição química dos gases medidos e são denominados um método de medição de pressão relativa, ou seja, determinam a pressão indiretamente a partir da propriedade de condutividade térmica do meio gasoso.