Válvula de controle de fluxo de uso geral MKS, 500 sccm, conexão de tubo Swagelok® VCR® M de 4", vedações em Viton Número de peça MKS: 148JA52CR1M
Quando alimentada com uma corrente de controle, esta válvula solenoide modificada de uso geral modula o fluxo de gás. Quando utilizada com um controlador MKS e um sensor de fluxo apropriado, a válvula 148J modula o fluxo de gás, mantendo a pressão ou o fluxo precisos. As aplicações incluem controle de fluxo e controle de pressão a montante ou a jusante. Este modelo de válvula 148JA52CR1M apresenta uma faixa de escala completa de 500 centímetros cúbicos padrão por minuto (sccm) de nitrogênio, 4 conexões de tubo VCR® M e vedações de Viton. A condutância de vazamento com a válvula fechada é < 1x10⁻⁵ scc/s de hélio.
Swagelok® e VCR® são marcas registradas da Swagelok Company. Vac Goop™ é uma marca comercial da Swagelok Company. A Ideal Vacuum Products não é uma distribuidora autorizada da Swagelok Company.