安捷伦 Varian 531 热电偶真空压力表模拟器和参考管。
这是安捷伦瓦里安531型热电偶压力计模拟器和参考管。它可以模拟2.0托和1× 10⁻³托的压力。参考管永久密封，内部真空，压力≤5× 10⁻⁶托。
热电偶真空压力表
热导率压力计的工作原理是气体导热能力随压力降低而降低。这类压力计通过通电加热一根金属丝。然后可以使用热电偶或电阻温度检测器 (RTD) 来测量金属丝的温度。该温度取决于金属丝向周围气体散热的速率，也就是气体的热导率。一种常见的变体是皮拉尼压力计，它使用单根铂丝作为加热元件和 RTD。这些压力计的精度范围为 20 Torr 至10⁻³ Torr（取决于所购买的传感器和控制器型号）。然而，它们对被测气体的化学成分非常敏感，因此被称为相对压力测量方法，也就是说，它们是通过气体介质的热导率间接确定压力的。
