这些中型 Ideal Vacuum Super-Seal 气动波纹管 90° 角阀配备 3 英寸外径可焊接管路进出口，非常适合搭配不同类型的进出口法兰进行定制。它们主要设计用于高真空范围 ( ^10⁻⁸ Torr)，泄漏率为^10⁻⁹ Torr l/s (He)，但也可用于高达 60-80 psi 的正压环境。这些阀门采用 304L 不锈钢阀体和机构、铝制执行器以及 Viton 波纹管座 O 形圈密封。Super-Seal 阀门可耐受高达 100°C 的烘烤温度（仅限阀体）。这些阀门可以任意方向安装。

这些中型超级密封阀的开启和关闭都需要压缩空气。它们没有弹簧复位装置，因此不会自动关闭。需要低流量、干燥的压缩空气，压力范围为 60 至 80 psi。由于没有自动弹簧关闭功能，因此在断电或断气的情况下，它们无法提供故障保护以维持腔室真空。

阀门的开启和关闭由一个（中型）双作用电动电磁阀控制气流。电磁阀电压有四种可选：12VDC、24VDC、110VAC 和 220VAC。

Super-Seal阀门提供三种位置指示传感器，包括机械簧片开关和两种晶体管型（NPN和PNP）。每个传感器都配有LED指示灯，用于直观地显示阀门状态（开启或关闭）。这些传感器还可用于切换或触发辅助设备。

Super-Seal 系列阀门包括可焊接管、KF、ISO-K 和 Conflat (CF) 法兰选项，从 3/4” OD 管 (KF-16) 到 10” OD 管 (ISO-K 250)，并且许多阀门都有直角 (90°) 和直列式版本。

这些阀门性价比极高，可靠性极强，因此广泛应用于半导体制造、等离子体物理研究和核加速器等领域。它们是真空过程自动化中的关键组件，平均故障间隔时间 (MTTF) 超过一百万次循环。

电磁阀和位置指示传感器是单独出售的。

请参阅以下技术规格，并下载用户手册以获取有关 Ideal Vacuum Super-Seal 系列气动波纹管阀和附件的完整信息。