这些小型理想真空 Super-Seal 气动波纹管 90° 角阀配有 KF-40 进气口和出气口。它们主要用于高真空范围 (10 ^-8 Torr)，泄漏率为 10 ^-9 Torr l/s (He)，但最高可承受 60-80 psi 的正压。这些阀门由 304L 不锈钢阀体和机构、铝制执行器以及 Viton 波纹管阀座 O 形圈密封件构成。Super-Seal 阀门可烘烤至 100°C（仅阀体）。这些阀门可以任意方向安装。

这些小型 Super-Seal 阀门需要空气开启，并配有弹簧关闭机构。所需压力范围为 60 至 80 psi 的低容量干燥压缩空气。由于它们会自动关闭，因此可用作安全阀，在断电或断气时提供故障保护，保持腔室真空。

开启阀门的气流由单作用电动螺线管控制。螺线管电压有四种选择：12 VDC、24 VDC、110 VAC 和 220 VAC。

Super-Seal 阀门配备三种位置指示传感器，包括机械簧片开关和两种晶体管类型（NPN 和 PNP）。每个传感器均配有 LED 指示灯，可通过指示灯直观地确认阀门状态（开启或关闭）。这些传感器还可用于开关或触发辅助设备。

Super-Seal 系列阀门包括可焊接管、KF、ISO-K 和 Conflat (CF) 法兰选项，从 3/4 英寸外径管 (KF-16) 到 10 英寸外径管 (ISO-K 250)，许多阀门都有直角 (90°) 和直列版本。

这些阀门物超所值，可靠性极高，适用于半导体制造、等离子体物理研究和核加速器等应用。它们是真空过程自动化的主要部件，平均故障时间 (MTTF) 超过一百万次。

螺线管和位置指示器传感器单独出售。

请参阅下面的技术规格并下载用户手册以获取有关 Ideal Vacuum Super-Seal 系列气动波纹管阀和配件的完整信息。