Edwards APG200-M 型主动式皮拉尼真空计，NW25、KF25 型，量程 10⁻⁴ Torr，S 型匹配，非线性输出。产品编号：D1G1021150

Edwards APG200-M 主动式皮拉尼真空计配备 NW25 和 KF25 真空法兰，结构紧凑，易于安装，具有非线性输出，并且用户可更换管式传感器。这款新型 Edwards 真空计兼容所有 Edwards TIC、ADC、TAG 仪器控制器以及其他主动式真空计控制器和显示器。由于采用无铅结构，它们已获得 CSA 和 C/US 认证，并完全符合 RoHS 标准。其测量范围从大气压到 3.75× ^10⁻⁴的真空度。信号电缆和 TIC 真空计控制器需单独购买。这款配备标准钨/铼灯丝和 NW25 真空法兰的 Edwards APG200-M 主动式皮拉尼真空计的 Edwards 零件编号为 D1G1021150。

APG200系列压力表共有三个版本：M系列、LC系列和MP系列。M系列采用标准钨/铼灯丝，可测量从大气压到3.75× ^10⁻⁴ Torr的压力，适用于一般应用。LC系列采用耐腐蚀铂/铱灯丝，可测量从大气压到7.5× ^10⁻⁵ Torr的压力，也适用于腐蚀性环境。MP系列采用铂/铑灯丝，可测量从大气压到3.75× ^10⁻⁴ Torr的压力，也适用于一般应用。Edwards APG200系列压力表的使用说明书（PDF格式）可在下方下载。

APG200 可以任意方向安装。但是，压力表管在出厂时已在氮气中垂直校准。为了确保在您选择的安装方向下获得正确的压力指示，应在大气压下重新校准压力表。Edwards 建议垂直安装压力表管，以最大程度地减少工艺颗粒和可冷凝蒸汽在压力表内的积聚。APG200 已针对氮气进行了校准，在干燥空气、氧气和一氧化碳中也能正确读数。对于任何其他类型的气体，都需要进行转换才能获得正确的压力读数。常见气体包括：氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氪气和氖气。

功能包括：

• 紧凑型外壳，方便连接信号电缆
• 传感器可耐受150°C (300°F) 的高温，且传感器可由用户更换。
• 可调节设定点，实现简单的过程控制和联锁
• 可进行远程校准
• 压力范围 10 ^-4 Torr

皮拉尼波和对流增强型皮拉尼波测量仪的背景知识
皮拉尼真空计可归类为热导率真空计，与热电偶真空计非常相似，都是通过测量加热丝的电阻来确定真空压力。皮拉尼真空计的设计原理是测量电阻不平衡，其中加热丝构成惠斯通电桥电路的一个桥臂。随着真空压力的增加，气体分子会带走加热丝的热量，压力传感器的电阻值会降低，从而导致电路不平衡。因此，真空压力是通过测量压力引起的惠斯通电桥电路不平衡来计算的。与热电偶真空计一样，在0.001至1托的压力范围内，分子碰撞引起的热导率随压力线性增加。然而，当压力进一步增加到粘性流动状态时，散热过程变为非线性，因为气体间的碰撞会使分子重新定向，朝向加热丝。分子必须经过多次碰撞才能到达传感器的外壳（散热器）。对流增强型皮拉尼压力计利用传感器内部的对流，将其压力测量范围扩展到大气压。

皮拉尼真空计是一种间接压力测量传感器，其测量读数取决于气体类型。需要注意的是，较重气体的传热速率较差，而标准的对流增强型皮拉尼真空计是针对氮气（N₂）校准的（与空气的校准基本相同）。因此，当用氩气等较重气体回充真空系统时，可能会导致危险的过压情况。如果真空系统操作员没有根据气体类型校正真空计的显示读数，就会出现危险。例如，当腔室内充满760托的氩气时，一个针对氮气校准的标准真空计会显示24托。操作员会误以为腔室仍处于真空状态，并继续增加系统压力直至达到临界过压状态。另一个误差来源是，如果对流增强型皮拉尼真空计安装不正确，大多数商用传感器都要求其平行于地面安装。这样可以保持传感器内部的常规电流沿设计方向流动（如果常规增强型皮拉尼传感器没有水平安装，很容易引入 20% 或更大的误差）。

快速抽真空时，这些对流增强型皮拉尼传感器会在几秒钟内产生显著的测量误差。由于快速抽真空的气体膨胀，压力传感器灯丝的散热并非正常的对流，而是由强制对流驱动。真空压力快速下降时，气体膨胀冷却，这为高温传感器线的散热提供了第二条途径。在系统抽真空期间，对流增强型皮拉尼压力表可能会错误地显示高达 1000 Torr 的高压。一旦停止气体流动，压力读数将再次稳定到一个实际的测量值。因此，对流增强型皮拉尼压力表不太适合测量动态抽真空条件下的压力变化。总的来说，对流增强型皮拉尼压力表是一种常用的、经济实惠的粗真空压力表，其测量范围从大气压到 1×10⁻⁴ Torr，其中低于 1 Torr 的测量精度最高。