MKS 248D 通用流量控制阀，10000 sccm，1/4 英寸 Swagelok® 管接头，Viton 密封件

当施加控制电流时，这款通用型改进型电磁阀可以调节气体流量。与 MKS 控制器和合适的流量传感器配合使用时，248D 型阀可在保持精确压力或流量的同时调节气体流量。应用包括流量控制、上游或下游压力控制。这款 0248D-10000SV 型阀的氮气满量程为 10000 标准立方厘米/分钟 (sccm)，配备 Swagelok® 1/4 英寸管接头和 Viton 密封件。阀门关闭时的泄漏导通率小于 1× ^10⁻⁵ scc/sec He。