MKS 626D 0.1 Torr Baratron 绝对电容式压力计，真空压力表传感器，KF-16 法兰尺寸
MKS零件编号：626D.1TDE MKS 626D 非加热式绝对压力计 Baratron® 电容式压力计是最新一代基于电容的高性能模拟真空和压力传感器。它需要 ±15 VDC 输入电压，并提供与压力呈线性关系的 0-10 VDC 高电平模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪器或任何符合这些要求的仪器连接。压力/真空的变化是通过测量传感器隔膜与相邻电极盘之间的电容变化来确定的。该电容变化通过专利信号调理电子电路转换为可用的输出信号。传感器中径向张紧的 Inconel® 隔膜具有极快的响应速度（在许多情况下小于 20 毫秒）、低滞后性、出色的重复性、极高的分辨率（可达满量程的 0.001%）、极高的耐腐蚀性以及确保操作人员安全的双壁焊接结构。该传感器本身可承受反复暴露于 45 psia (3.1 bar) 的压力下而不会发生永久性性能下降或偏移，使其几乎可在任何过程系统中运行。MKS 626D Baratron 电容式压力计在环境条件下工作。其满量程压力/真空范围为 0.1 至 1000 Torr，适用于众多工业、电子和科研应用。
此列表适用于 MKS 626D 型电容压力计，该压力计具有 15 针 D 型微型信号连接器、0.1 Torr 满量程最大真空压力读数值、KF-16 真空法兰连接，并且具有 MKS 零件编号 626D.1TDE。
兼容的控制器和线缆：
产品特点：
- 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器
- 直接测量腔室总压力，不受气体类型或成分的影响
- 长期输出稳定性，实现最先进的工艺重复性
- 采用Inconel®和Incoloy®镍合金制造的基本传感器，在几乎任何化学环境下都能正常工作而不会损坏。
- 高超压限制确保系统发生故障时的可靠性
- 以读数百分比表示，以获得最佳精度和更高的工艺良率
