MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 模拟控制，范围为 4 至 200 sccm，15 针 D-sub 小型连接器，4 VCR® 公头。
MKS零件编号：GM50A013202RMM020。这款 MKS GM50A 质量流量控制器针对氮气或等效气体进行了校准，控制范围为 4 至 200 sccm。它配备一个 15 针 D-sub 小型模拟连接器，接地端连接，并提供 0-5 VDC 的流量输入和输出信号。气体进出口接头为 Swagelok® 4 VCR® 公头。阀门密封件为常闭式，材质为特氟龙™。典型响应时间约为 500 毫秒。
世伟洛克®，VCR-TM 世伟洛克®公司
特氟龙™ 科慕公司 FC, LLC。 Swagelok® 和 VCR® 是 Swagelok 公司的注册商标。Vac Goop™ 是 Swagelok 公司的商标。Ideal Vacuum Products 并非 Swagelok 公司的授权经销商。
