MKS Granville Phillips 过程控制模块，用于 GP 370 真空计控制器的 6 个设定点。编号：370107

这是 MKS Granville Phillips 过程控制模块，为 370 真空计控制器提供单刀双掷继电器，可通过（6 个数字设定点）或内置手动超驰开关进行控制。该过程控制模块有 6 个用户可选通道。前 2 个通道分配给离子真空计。如果存在，通道 3 和 4 分配给 CGA 或 TCA； 5和6至CGB、TCB或CMB。

提供开关将通道 1 分配给 IG1、IG2 或两者；通道 2 也是如此。所有六个通道都具有可选择的极性，可在高于或低于设定点时激活。有关过程控制卡（模块）的安装程序，请参阅说明手册.pdf 第 16-27 页。规格及使用方法请参见使用说明书第五章。这仅是过程控制卡模块（带有 6 个设定点），MKS Granville Phillips 370 控制器、电缆和附件在本网站上单独出售。 pdf 格式的 MKS Granville Phillips 370 真空计控制器说明手册可在下面下载。