MKS Granville-Phillips 355 微型离子 ATM 模块化真空压力传感器,数字显示 Torr 读数,DeviceNet 认证,氧化钇涂层铱丝,2.75 英寸 CF 入口
压力测量范围从 1 × 10⁻⁹ Torr 到大气压
MKS Granville-Phillips 355 微型离子 ATM 模块结合了成熟的微型离子电离压力计技术和微型 Conductron 热损耗传感器,可提供从高真空到大气压的精确、连续压力测量。该产品采用隔膜传感器,能够提供精确的绝对压力(直至大气压),并精确指示真空室与环境压力之间的压差。独特的传感器设计消除了可能影响高压下热损耗传感器性能的热效应。
这个小型模块将所有四个传感器和控制电子元件集成在一个紧凑的模块化设计中,减少了腔室所需的压力表数量,同时最大限度地缩小了所需的安装空间。全范围压力测量通过 DeviceNet 数字接口提供。此 DeviceNet 版本包含用于过程控制的可配置设定点,允许将继电器分配到真空压力范围内的任意压力值或特定的差压值。
福利包括:- 从 1 × 10 -9 Torr 高真空到大气压的连续压力测量。
- 大气压下精密差压测量。
- 无需使用独立的大气开关。
- 省去了使用三个独立传感器的需要。
- 氧化钇涂层铱电离测量灯丝可提高设备正常运行时间。
- 自动电离计的激活和停用。
- 用于过程控制的可配置设定点继电器。
- 可现场更换的压力表组件。
- DeviceNet数字输出。
模块化真空计是无需前面板显示和控制的应用的理想解决方案。这些结构紧凑、方便、可靠且经济的模块将控制电子元件直接安装在真空计上。全金属外壳坚固耐用,并具有很高的抗电噪声能力。
迷你型对流模块采用最新的电子技术来驱动 Granville-
Phillips®对流压力表。对流压力表已成为行业标准。它是热导压力表的一种独特变体,其压力测量基于传感器导线的热损失率。与仅依赖传导热损失的传统热电偶和皮拉尼压力表不同,对流压力表还能利用高压下的对流热损失。这使得精确、可重复的压力测量范围扩展至大气压。