原子层沉积（ALD）液态前驱体蒸汽输送钢瓶系统，304L不锈钢，DOT-3E-1800 150cm³钢瓶

在化学气相沉积 (CVD)、金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 和原子层沉积 (ALD) 工艺中，需要对液态前驱体蒸汽进行可控输送。这些液态蒸汽输送钢瓶内置鼓泡器，有助于将前驱体蒸汽控制在缓冲气流中。这些蒸汽输送钢瓶采用耐化学腐蚀的 316 不锈钢制成，入口和出口均配有四分之一圈球阀。钢瓶额定压力高达 1800 PSI（37°C）。

气瓶最大额定压力随温度而变化。切勿在超过其相应温度限制的温度下对气瓶加压。

每个阀门上都印有流向标识。当缓冲气体沿正确方向流向沉积过程时，气瓶底部会形成气泡，这些气泡会上升穿过前驱体液体。这样就能在缓冲气体（通常为氦气、氖气或氩气）中保持恒定稳定的稀释前驱体蒸汽流。这些液态前驱体蒸汽输送气瓶可以加热或冷却，以控制前驱体的蒸汽压力和浓度。这可以实现精确的流量浓度控制。

进出气阀采用 1/4 英寸 Swagelok® 球阀接头，不适用于易燃液体。对于使用高度易燃易燃液体的 ALD 应用，我们的输送气瓶已升级为隔膜阀，以提高安全性，从而适用于三甲基铝 (TMA)、三乙基铝 (TEA)、二乙基锌 (DEZn) 和三甲基镓 (TMGa) 等易燃液体。