安捷伦 Varian 531 热电偶真空压力测量管传感器，4 VCR® 母头，不锈钢

瓦里安 531 热电偶真空计管式传感器可提供 1 x ^10⁻³ Torr 至 2.0 Torr（1 x 10⁻³ mbar 至 2.7 mbar）范围内连续、精确的总压力指示。该传感器专为粗排和前线压力测量而开发，兼具坚固耐用和卓越性能。瓦里安 531 热电偶真空计是一款低成本的压力测量传感器。该型号采用不锈钢材质，并经激光焊接，具有极高的抗振性能。

热电偶真空压力表
热导率压力计的工作原理是气体导热能力随压力降低而降低。这类压力计通过通电加热一根金属丝。然后可以使用热电偶或电阻温度检测器 (RTD) 来测量金属丝的温度。该温度取决于金属丝向周围气体散热的速率，也就是气体的热导率。一种常见的变体是皮拉尼压力计，它使用单根铂丝作为加热元件和 RTD。这些压力计的精度范围为 20 Torr 至^10⁻³ Torr（取决于所购买的传感器和控制器型号）。然而，它们对被测气体的化学成分非常敏感，因此被称为相对压力测量方法，也就是说，它们是通过气体介质的热导率间接确定压力的。