Agilent Varian 531 Thermoelement-Vakuumdruckmessgerät-Simulator und Referenzrohr

Dies ist ein Agilent Varian 531 Thermoelement-Manometer-Simulator mit Referenzrohr. Er simuliert sowohl einen Druck von 2,0 Torr als auch von 1 × ^10⁻³ Torr. Das Referenzrohr ist permanent mit einem Vakuum bei einem Druck von ≤ 5 × ^10⁻⁶ Torr verschlossen.

Thermoelement-Vakuummanometer
Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte nutzen die Tatsache, dass die Wärmeleitfähigkeit eines Gases mit steigendem Druck abnimmt. Bei diesem Messgerät wird ein Draht durch Stromfluss erhitzt. Die Temperatur des Drahtes kann anschließend mit einem Thermoelement oder einem Widerstandsthermometer (RTD) gemessen werden. Diese Temperatur hängt von der Wärmeabgabe des Drahtes an das umgebende Gas und somit von seiner Wärmeleitfähigkeit ab. Eine gängige Variante ist das Pirani-Manometer, das einen einzelnen Platindraht sowohl als Heizelement als auch als RTD verwendet. Diese Messgeräte sind im Bereich von 20 Torr bis ^10⁻³ Torr genau (abhängig vom verwendeten Sensor- und Reglermodell). Sie reagieren jedoch empfindlich auf die chemische Zusammensetzung der gemessenen Gase und werden daher als relative Druckmessmethode bezeichnet, d. h. sie bestimmen den Druck indirekt über die Wärmeleitfähigkeit des Gases.