MKS Granville Phillips 355 Mikro-Ionen-ATM-Modularer Vakuumdruckwandler, Digitalanzeige, DeviceNet, Yttriumoxid-beschichteter Iridiumfaden, 2,75 CF

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MKS Granville-Phillips 355 Mikro-Ionen-ATM-Modul, Digitalanzeige Torr, DeviceNet, Yttriumoxid-beschichteter Iridiumdraht, 2,75 Zoll CF-Einlassdruckmessung von 1 × 10⁻⁹ Torr bis Atmosphäre. Das MKS Granville-Phillips 355 Mikro-Ionen-ATM-Modul kombiniert bewährte Mikro-Ionen-Ionisationsmanometer-Technologie mit einem miniaturisierten Conductron-Wärmeverlustsensor für präzise, kontinuierliche Druckmessungen vom Hochvakuum bis zur Atmosphäre. Dank seiner Membransensoren liefert dieses Produkt genaue Absolutdrücke bis hin zur Atmosphäre sowie eine präzise Anzeige des Differenzdrucks zwischen Vakuumkammer und Umgebungsdruck. Die einzigartige Sensorkonstruktion eliminiert thermische Effekte, die die Leistung des Wärmeverlustsensors bei höheren Drücken beeinträchtigen können. Dieses kleine Modul vereint alle vier Sensoren und die Steuerelektronik in einem kompakten, modularen Design. Dadurch reduziert sich die Anzahl der benötigten Messgeräte in einer Kammer und der Platzbedarf wird minimiert. Die Druckmessung über den gesamten Messbereich erfolgt über eine digitale DeviceNet-Schnittstelle. Diese DeviceNet-Version bietet konfigurierbare Sollwerte für die Prozesssteuerung. Die Relais können so auf jeden Druck im Vakuumdruckbereich oder auf einen bestimmten Differenzdruckwert eingestellt werden. Vorteile: Kontinuierliche Druckmessung von 1 × 10⁻⁹ Torr Hochvakuum bis Atmosphärendruck. Präzise Differenzdruckmessung bei Atmosphärendruck. Wegfall separater Atmosphärenschalter. Wegfall von drei separaten Sensoren. Yttriumoxidbeschichtete Iridium-Ionisationselektrode erhöht die Geräteverfügbarkeit. Automatische Aktivierung und Deaktivierung des Ionisationsmessgeräts. Konfigurierbare Sollwertrelais für die Prozesssteuerung. Vor Ort austauschbare Messgeräteeinheit. Digitaler DeviceNet-Ausgang. Modulare Vakuummessgeräte sind die ideale Lösung für Anwendungen ohne Frontplattenanzeige und Bedienelemente. Diese kompakten, praktischen, zuverlässigen und kostensparenden Module verfügen über die direkt am Messgerät montierte Steuerelektronik. Das Ganzmetallgehäuse bietet ein robustes Gehäuse und eine hohe Immunität gegen elektrische Störungen. Mini-Convectron-Module nutzen modernste Elektronik für den Betrieb des Granville-Phillips® Convectron®-Messgeräts. Das Convectron-Manometer hat sich als Industriestandard etabliert. Es handelt sich um eine spezielle Variante von Wärmeleitfähigkeitsmanometern, bei der die Druckmessung auf der Wärmeverlustrate eines Sensordrahts basiert. Im Gegensatz zu herkömmlichen Thermoelement- und Pirani-Manometern, die ausschließlich auf Wärmeleitung beruhen, nutzen Convectron-Manometer bei höheren Drücken zusätzlich die Wärmeverluste durch Konvektion. Dadurch wird der Messbereich für präzise und reproduzierbare Druckmessungen bis hin zum Atmosphärendruck erweitert.