Diese großen, idealen Vakuum-Super-Seal-Pneumatik-Winkelventile mit 90°-Winkel verfügen über 6"-Außendurchmesser-Schweißanschlüsse für Ein- und Auslassrohre und eignen sich daher ideal für die individuelle Anpassung mit verschiedenen Flanschtypen. Sie sind primär für den Einsatz im Hochvakuumbereich ( ^10⁻⁸ Torr) mit Leckraten von ^10⁻⁹ Torr l/s (He) ausgelegt, können aber bis zu einem Überdruck von 15 psi verwendet werden. Die Ventile bestehen aus einem Ventilkörper und -mechanismus aus Edelstahl 304L, einem Aluminium-Stellglied und Viton-Balgdichtungen mit O-Ringen. Super-Seal-Ventile sind bis 100 °C ausheizbar (nur Ventilkörper). Die Ventile können in jeder Einbaulage montiert werden.

Diese großdimensionierten Super-Seal-Ventile benötigen Druckluft sowohl zum Öffnen als auch zum Schließen. Sie verfügen über keine Rückstellfeder und schließen daher nicht automatisch. Es wird eine geringe Menge trockener Druckluft im Bereich von 60–80 psi benötigt. Da sie keine automatische Rückstellfeder besitzen, können sie bei Strom- oder Druckluftausfall keinen Schutz vor Vakuum in der Kammer gewährleisten.

Der Luftstrom zum Öffnen und Schließen des Ventils wird durch ein (großes) doppeltwirkendes, elektrisch betätigtes Magnetventil gesteuert. Es stehen vier verschiedene Magnetspannungen zur Auswahl: 12 V DC, 24 V DC, 110 V AC und 220 V AC.

Für Super-Seal-Ventile sind drei Positionsanzeigesensoren erhältlich: ein mechanischer Reed-Schalter und zwei Transistortypen (NPN und PNP). Jeder Sensor verfügt über eine LED, die den Ventilzustand (offen oder geschlossen) optisch anzeigt. Diese Sensoren können auch zum Schalten oder Ansteuern von Hilfsgeräten verwendet werden.

Die Super-Seal-Ventilfamilie umfasst Optionen für schweißbare Rohre, KF-, ISO-K- und Conflat (CF)-Flansche, von 3/4" OD Rohr (KF-16) bis 10" OD Rohr (ISO-K 250), und viele sind als rechtwinklige (90°) und Inline-Versionen erhältlich.

Diese Ventile bieten ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis und sind äußerst zuverlässig, wodurch sie sich für Anwendungen wie die Halbleiterfertigung, die Plasmaphysikforschung und Kernbeschleuniger eignen. Sie sind eine Hauptkomponente in der Vakuumprozessautomatisierung und weisen eine mittlere Betriebsdauer bis zum Ausfall (MTTF) von über einer Million Zyklen auf.

Magnetventile und Positionsanzeigesensoren werden separat verkauft.

Die technischen Spezifikationen finden Sie weiter unten. Laden Sie sich das Benutzerhandbuch herunter, um vollständige Informationen über die Ideal Vacuum Super-Seal-Familie von pneumatischen Balgventilen und Zubehör zu erhalten.